حفظ امنیت هنگام تمیزکاری ویفرها
وقتی که ویفرها را در خطوط تمیزکاری شیمیایی گرم میکنید، در واقع در حال بازی با آتش هستید؛ یا حداقل با بخاراتی که میتوانند منفجر شوند. لامپهای معمولی استفاده شده در این منظور، برای مقابله با چنین فشارهایی مناسب نیستند؛ استفاده از آنها میتواند منجر به فاجعه شود.
برای جلوگیری از این مشکل، عناصر گرمایشی را در یک نوع زره ویژه پیچیدهایم. این زره، مواد شیمیایی را از منبع گرما دور نگه میدارد، اما اجازه میدهد گرما به جای مناسب خود برسد.
راز، در سیستم درزبندی است
ما هیچ ریسکی را در نظر نمیگیریم؛ لذا لولههای کوارتزی را در غلافهای مقاوم در برابر مواد شیمیایی پیچیدهایم، و در محلات اتصال الکترودها نیز از درزبندیهای محکم استفاده کردهایم.
چرا؟ چون اگر گازهای خطرناک وارد بدنه لامپ شوند، مشکلات بزرگی پیش خواهد آمد. نقص در سیستم درزبندی، فقط یک مشکل فنی نیست؛ بلکه یک خطر جدی است. به همین دلیل از موادی استفاده میکنیم که بتوانند در برابر مواد شیمیایی مقاومت کنند، بدون اینکه از هم پاشند.
تنظیم دمای مناسب
این گرمکنها از تابش مادون قرمز استفاده میکنند؛ این روش بسیار سریع است.
این سرعت باعث میشود که ویفرها مدت کمتری در «منطقه خطرناک» دمایی باقی بمانند. ما زمان زیادی صرف تنظیم توان لامپ کردهایم تا ویفرها به دمای مناسب برسند، بدون اینکه بدنه لامپ ذوب شود. توجه داشته باشید که منبع تغذیه لامپ باید دقیقاً مطابق با ولتاژ لامپ باشد؛ در غیر این صورت، لامپ زودتر خراب خواهد شد.
نصب و حفظ عملکرد لامپها
ما این لامپها را به گونهای طراحی کردهایم که بتوانند جایگزین لامپهای فعلی شوند.
البته، این لامپها کمی بزرگتر از لامپهای معمولی هستند؛ این همان قیمتی است که برای داشتن استانداردهای ایمنی پرداخته میشود. قبل از نصب، حتماً فاصلههای موجود در بدنه لامپ را بررسی کنید تا مشکلی در استفاده از فضای موجود پیش نیاید.
پس از نصب، مراقب غلافهای خارجی لامپ باشید؛ اگر ترکی بر روی آنها دیدید، بلافاصله لامپ را خارج کنید.
همچنین، از کانکتورهای محکم استفاده کردهایم؛ زیرا ماشینآلات تمیزکاری بسیار لرزش دارند. نمیتوانیم اجازه دهیم سیمها شل شوند و در اتاقی پر از مواد شیمیایی، انرژی الکتریکی ایجاد شود. این یک مسئله منطقی است.