دیگر انرژی خود را هدر ندهید: چرا استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا مهم است
در کارخانههای تولید نیمههادی، گرما اهمیت بسیار زیادی دارد. اما مشکل اینجاست که لامپهای معمولی مادون قرمز، انرژی را در همه جا پخش میکنند. بدون استفاده از بازتابنده مناسب، در واقع شما برای انرژیای پول میپردازید که صرفاً در بدنه دستگاه از بین میرود؛ این یک هدررفت انرژی است.
به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم. ما این کار را برای زیباتر دیدن دستگاه انجام نمیدهیم؛ بلکه برای هدایت دقیق انرژی مادون قرمز به محل مناسب، یعنی مستقیماً روی ویفر، این کار را انجام میدهیم.
چرا طلا؟
آلومینیوم معمولاً برای این منظور استفاده میشود، و برای برخی کارها مناسب است. اما برای امواج طولانی و متوسط مادون قرمز، طلا بهتر است؛ زیرا گرما را جذب نمیکند، بلکه آن را بازتاب میدهد.
نتیجه این است که واتهای بیشتری به هر سانتیمتر مربع از سطح ویفر وارد میشود؛ در نتیجه، با تلاش کمتر، میتوانید گرمای بیشتری ایجاد کنید.
مشکلات مربوط به گرما و انرژی
وقتی با لامپهای پرقدرت سروکار داریم، میزان گرمای تولید شده بسیار زیاد میشود. همه ما میخواهیم زمان راهاندازی دستگاه را کوتاه کنیم؛ اما این میزان انرژی برای پوشش کوارتز، بسیار خطرناک است.
اگر منبع تغذیه دستگاه به درستی تنظیم نشده باشد، اوضاع به سرعت خراب میشود؛ در نتیجه، گرمای تولید شده نامتوازن خواهد بود، یا حتی لامپ خراب خواهد شد. علاوه بر این، باید مطمئن شوید که سیستم خنککننگ دستگاه به اندازه کافی قوی باشد تا گرمایی که به ویفر نمیرسد را مدیریت کند. اگر این موضوع را نادیده بگیرید، دستگاه خودش خراب خواهد شد.
نحوه استفاده از این بازتابندهها
ما این بازتابندهها را به عنوان جایگزینهای مناسب برای لامپهای موجود طراحی کردهایم؛ زیرا توقف کار دستگاه، یک مشکل بزرگ است. برای حفظ یکپارچگی عملکرد دستگاه، از روش رسوبدادن طلا در فضای خالی برای پوشاندن سطح بازتابندهها استفاده میکنیم؛ این کار باعث میشود پوشش بر روی کل سطح بازتابنده یکنواخت باشد. هیچ نقطه داغی وجود نخواهد داشت، و ویفر نیز خراب نخواهد شد.
اما یک نکته مهم وجود دارد: طلا کمی حساس است؛ اگر در کارخانه گازهای خورنده وجود داشته باشد، پوشش طلا ممکن است آسیب ببیند. وقتی که پوشش طلا شروع به پوستهپوسته شدن کند، کارایی دستگاه کاهش خواهد یافت.
بنابراین، بهتر است هر از گاهی بررسی کنید که آیا بازتابندهها هنوز کار خود را به خوبی انجام میدهند یا خیر؛ تا از هدررفت انرژی جلوگیری کنید.