جلوگیری از طوفان شیشهای: چرا فرستندههای مادون قرمز نیاز به درپوشهای سرامیکی دارند
اگر در زمینه تولید نیمههادیهای با بار بالا فعالیت میکنید، حتماً از این مشکلات آگاه هستید. لامپهای مادون قرمز میتوانند خراب شوند؛ اما مشکل فقط توقف کار لامپ نیست، بلکه وضعیت کلی خط تولید نیز به هم میخورد.
وقتی که لولههای کوارتزی خراب میشوند، نه تنها دیگر کار نمیکنند، بلکه تکههای شیشه و رشتههای تنگستن را نیز در اطراف ویفرها پخش میکنند؛ این وضعیت واقعاً فاجعهبار است.
به همین دلیل از درپوشهای سرامیکی استفاده میکنیم.
نحوه عملکرد این درپوشها
فرستندههای مادون قرمز استاندارد از پوشش کوارتزی برای حفظ چرخه هالوژن استفاده میکنند؛ اما مشکل اینجاست که تحت فشارهای حرارتی، نقاط اتصال الکترودها به لوله ممکن است آسیب ببینند. ما از درپوشهای سرامیکی با کیفیت بالا برای محافظت از این نقاط استفاده میکنیم.
میتوانید این درپوشها را مانند سپری برای محافظت از ویفرها در نظر بگیرید؛ اگر لوله به دلیل فشارهای مکانیکی یا شوک حرارتی خراب شود، درپوش سرامیکی تکههای شیشه را جذب میکند و از گسترش آسیب به سایر بخشهای خط تولید جلوگیری میکند.
تنظیم مناسب درپوشها و گرما
ما از سرامیکهای مبتنی بر آلومینا استفاده میکنیم؛ چرا؟ چون این سرامیکها با سرعتی نزدیک به کوارتز، گسترش و انقباض میکنند. این امر باعث میشود که درپوشها در حین افزایش توان لامپ، لوله را خراب نکنند.
اثر بسته بودن درپوشها بسیار مهم است؛ اگر اکسیژن وارد محیط هالوژن شود، رشتههای تنگستن خیلی سریع خواهند سوخت.
نکته مهمی که باید در نظر داشته باشید این است که اگر از حداکثر توان لامپ استفاده کنید، درپوشهای سرامیکی میتوانند الگوی گرمایی لامپ را کمی تغییر دهند؛ بنابراین باید مجاری خنککننده را بررسی کنید تا مطمئن شوید که در موقعیت مناسبی قرار دارند.
تأثیر این درپوشها بر خط تولید
در نهایت، این درپوشها باعث میشوند که دیگر نیازی به نگرانی درباره آلودگیهای ثانویه نباشد. وقتی که لوله خراب شد، کافی است آن را تعویض کنید؛ دیگر نیازی نیست شش ساعت وقت صرف تمیز کردن محیط تولید یا دور انداختن کل محموله ویفرهای گرانقیمت کنید.
در واقع، این درپوشها نوعی بیمه برای افزایش بازدهی خط تولید هستند.