Sicherstellen der Sicherheit beim Reinigen von Wafern
Wenn man Wafer in einer chemischen Reinigungsanlage erhitzt, geht es im Grunde darum, mit „Feuer“ umzugehen – oder zumindest mit Dämpfen, die leicht explodieren können. Herkömmliche Infrarotlampen sind einfach nicht für solche Bedingungen geeignet. Sie würden dazu führen, dass etwas schiefgeht.
Um das Problem zu lösen, umhüllen wir die Heizelemente mit einer speziellen Art von Schutzschicht. Dadurch bleibt die Chemikalie von der Wärmequelle entfernt, während die Wärme trotzdem dorthin gelangt, wo sie benötigt wird.
Das Geheimnis liegt im Verschluss
Wir wollen keinerlei Risiken eingehen – daher umhüllen wir die Quarzröhren mit widerstandsfähigen, chemikalienbeständigen Schalen. Zudem verwenden wir dichte Verschlüsse an den Elektrodenanschlüssen.
Warum? Weil, falls gefährliche Gase in den Lampenkörper eindringen, es zu ernsthaften Problemen kommen kann. Ein fehlerhafter Verschluss ist nicht nur ein technisches Problem – er stellt außerdem eine Bedrohung dar. Deshalb verwenden wir Materialien, die auch dem Einfluss von aggressiven Reinigungsmitteln standhalten können.
Die richtige Temperatur erreichen
Diese Heizgeräte nutzen Kurzwell-Infrarotstrahlung. Das bedeutet, dass die Wafer viel kürzer in dieser „Gefahrenzone“ mit starken Temperaturschwankungen verbringen müssen. Wir haben viel Zeit investiert, um die Leistung so einzustellen, dass die Wafer die richtige Temperatur erreichen, ohne dass die Umhüllung schmilzt. Achten Sie darauf, dass die Stromversorgung genau der Spannung der Lampe entspricht. Andernfalls riskieren Sie einen vorzeitigen Ausfall der Lampe.
Einbau und Betrieb
Wir haben diese Geräte so konstruiert, dass sie als Ersatz für Ihre aktuellen Reinigungsmodule verwendet werden können. Allerdings sind sie etwas größer als herkömmliche Lampen. Das ist der Preis für die Explosionsschutzzertifizierung. Überprüfen Sie vor dem Einbau unbedingt die Abstände im Gehäuse, damit Sie nicht mit jedem Millimeter Platz kämpfen müssen.
Sobald die Lampen eingebaut sind, achten Sie genau auf die äußeren Schalen. Falls Sie Risse entdecken, ziehen Sie die Lampe sofort heraus.
Wir verwenden außerdem verstärkte Steckverbindungen – schließlich vibriert die Reinigungsanlage stark. Wir dürfen nicht zulassen, dass die Kabel locker werden und dadurch Funken entstehen – schließlich befinden wir uns in einem Raum voller flüchtiger Chemikalien. Das ist einfach gesunder Menschenverstand.