সিএমপি-এর পরেও, ওয়াটার মার্ক এবং কণাগুলোর পুনর্স্থাপনের কারণে উৎপাদন ক্ষমতা কমে যায়। বেশিরভাগ ক্ষেত্রেই এর কারণ হলো শুকানোর সময় অস্থিতিশীল তাপীয় পরিস্থিতি। আমরা সিএমপি-এর পরে ওয়েফারগুলো শুকানোর জন্য এমন হিটার তৈরি করেছি, যা এই অস্থিতিশীলতাগুলোকে দূর করে—আরও বাড়ায় না।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা কোয়ার্টজ উইন্ডোর পিছনে শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান ব্যবহার করি; ফলে শক্তি সরাসরি ওয়েফারে পৌঁছায়—আর সাবস্ট্রেটকে কোনো ক্ষতি হয় না। অ্যাক্টিভ জোনে ওয়েফারের তাপমাত্রা ±0.1°C-এর মধ্যে থাকে; আর রিপিটেবিলিটি বজায় থাকে, কারণ ক্যালিব্রেটেড ক্লোজড-লুপ কন্ট্রোল ব্যবস্থা বাস্তব তাপমাত্রার সাথে তুলনা করে থাকে। এই যন্ত্রটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমে ব্যবহার করা যায়; আর উপাদানগুলো এমনভাবে নির্বাচন করা হয়েছে যাতে স্থিতিশীল অবস্থায় কোনো কণা তৈরি না হয়।
সিএমপি-এর পর শুকানোর ক্ষেত্রে এটি কেন কার্যকর?
কাজটি খুবই সরল: রিনস ফিল্মটিকে দ্রুত ও পরিষ্কারভাবে অপসারণ করা। কঠোর তাপীয় নিয়ন্ত্রণের ফলে সারফেস টেনশন সবসময় একই থাকে; ফলে ত্রুটিগুলো কমে যায়। এই স্থিতিশীলতার ফলে ফটোরেজিস্টের গুণমানও ভালো থাকে। হিটারটি ২৪/৭ কাজ করে; ফলে উৎপাদন ক্ষমতা স্থিতিশীল থাকে এবং রক্ষণাবেক্ষণও সহজ হয়।
আগে থেকে জানা দরকার এমন বিষয়গুলো:
ইনস্টলেশনের জন্য চেম্বারের জ্যামিতি ঠিক করা এবং কুল্যান্ট ও এক্সহস্ট ইন্টারফেসগুলো ঠিকভাবে সাজানো দরকার। আমরা ইন্টারফেসের ডিজাইন দিই; কিন্তু ফ্লোরে ইনস্টলেশন করার কাজটি আপনাকেই করতে হবে। প্রথম ব্যাচ তৈরি করার আগে থার্মাল ইকুইলিব্রিয়াম অর্জন করার জন্য কিছুটা সময় দরকার। এটাই হলো রিপিটেবিলিটি পাওয়ার জন্য দেওয়া মূল্য। একবার সবকিছু ঠিক হয়ে গেলে, হিটারটি তাপীয় পরিস্থিতিকে নিয়ন্ত্রণে রাখে এবং প্রক্রিয়াটিকে অক্ষত রাখে।