ফ্যাব ফ্লোরে
ফটোরেজিস্ট বেকের সময় ০.৫°C ড্রিফট হলেই ক্রিটিকাল ডাইমেনশনের ন্যানোমিটারে পরিবর্তন ঘটে এবং কণার সংখ্যা বৃদ্ধি পায়। আমরা আমাদের ক্লিনরুম ইনফ্রারেড হিটারটি তৈরি করেছি যাতে সেই ড্রিফট উৎস থেকেই রোধ করা যায়। এটি ওয়েফারের ঠিক পাশে তাপমাত্রার প্রোফাইলে লক করে, কেবল চেম্বারের বাতাস নয়, তাই সফট বেক এবং হার্ড বেক উন্নত লিথোগ্রাফির তাপীয় বাজেটের মধ্যে থাকে।
টেকনিক্যালভাবে যা গুরুত্বপূর্ণ আমরা দ্রুত প্রতিক্রিয়া এবং সন্নিবিষ্ট স্পেকট্রাল নিয়ন্ত্রণ সহ শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড চালাই, যা প্রতিদিন দেখা সাধারণ ফটোরেজিস্ট স্ট্যাকগুলির শোষণের সঙ্গে মিলে যায়। চকের উপর, ওয়েফার-স্তরের সমানতা ±০.১°C এ ধরে রাখা হয়, এবং পুনরাবৃত্তি সাইকেল পর সাইকেল ঠিক থাকে। এটি ক্লাস ১–১০০ তে কণার সংখ্যা বাড়ানোর ছাড়াই কাজ করে, সিল করা কোয়ার্টজ ইমিটার অ্যাসেম্বলি, উচ্চ-পিউরিটি সেরামিক ইনসুলেশন, এবং exhaust-free ডিজাইনের কারণে। আউটপুট ১০০ W থেকে ২.৫ kW পর্যন্ত স্থিতিশীল, এবং আমরা ২৪/৭ নির্ভরযোগ্যতা ৫,০০০+ ঘণ্টা দেখিয়েছি ৫% এর কম আউটপুট ড্রপের সঙ্গে।
কেন এটি বাস্তব প্রক্রিয়াকরণে সফল ফটোরেজিস্ট প্রক্রিয়াকরণে, তাপমাত্রার সঠিকতা দ্রাবক অপসারণ, ফিল্মের চাপ এবং CD নিয়ন্ত্রণকে চালিত করে। হিটারটি দ্রুত সেটপয়েন্টে পৌঁছায়, ফলে বেকের ধাপগুলি ছোট হয় এবং এটি পার্শ্ববর্তী সরঞ্জামগুলিতে তাপীয় ক্রস-টককে আটকায়। ফলস্বরূপ, আপনি একটি সঙ্কীর্ণ CD বিতরণ, কম পুনরায় কাজের লট এবং কম শক্তি ব্যবহার পান কারণ রেডিয়েন্ট ট্রান্সফার কার্যকর এবং স্ট্যান্ডবাই পাওয়ার কম। পূর্বনির্ধারিত ফলন। একটি প্রক্রিয়ার উইন্ডো যা আপনি নির্ভর করতে পারেন।
প্রায়োগিক বিশদ যা আপনি পরিকল্পনা করতে চান ইনস্টলেশনটি সরঞ্জামের যান্ত্রিক পরিবেশ এবং বৈদ্যুতিক ইন্টারফেসের সাথে মেলানোর উপর নির্ভর করে—সাধারণত ২৪ V নিয়ন্ত্রণ CE-মানের বিচ্ছিন্নতার সাথে। হিটারটি সবচেয়ে ভালো কাজ করে যখন ওয়েফারের দূরত্ব ±২ মিমি এর মধ্যে স্থির থাকে; বড় ফাঁকগুলি তীব্রতা কমায় এবং সমানতা ব্যান্ডকে প্রশস্ত করতে পারে। ক্লিনরুমের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ মাউন্টিংয়ের জন্য পরিকল্পনা করুন, এবং বিকিরণ এবং কণা কর্মক্ষমতা বজায় রাখতে উইন্ডো পরিদর্শন সময়সূচিতে রাখুন।