নমনীয় প্রদর্শন লাইনে, ফলন তাপ নিয়ন্ত্রণের উপর নির্ভর করে। একটি সফট বেক যা এমনকি 2°C বিচলিত হয়, তা CD সমতা বিঘ্নিত করে। একটি হার্ড বেক যা গরম বা ঠান্ডা চলে, তা প্রতিরোধের প্রোফাইল অনিশ্চিত করে এবং এচ ট্রান্সফার অগোছালো হয়ে যায়। শুকানোর ল্যাম্প কেবল একটি তাপ উৎস হতে পারে না—এটি একটি সঠিক প্রক্রিয়া যন্ত্রের মতো আচরণ করতে হবে।
যা গুরুত্বপূর্ণ: আমরা শুকানোর ল্যাম্পটি NIR-এর চারপাশে তৈরি করেছি, দ্রুত, যোগাযোগহীন উত্তপ্ত করার জন্য কোয়ার্টজ অপটিক্স সহ। আলোকিত অঞ্চলের মধ্যে, ওয়েফার-স্তরের সমতা ±0.1°C ধরে রাখে, তাই প্রতিটি সফট বেক এবং হার্ড বেক একই তাপ বাজেট পায়। এটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর জন্য ডিজাইন করা হয়েছে: স্থির অপারেশনের অধীনে কম আউটগ্যাসিং এবং শূন্য কণা উৎপাদন। ল্যাম্পটি 24/7 চালানো যেতে পারে পূর্বানুমানযোগ্য আউটপুট সহ, এবং পুনরাবৃত্তি লট পরে লট ধরে রাখে। কেন এটি নমনীয় প্রদর্শন ফ্যাবসে কাজ করে: সাবস্ট্রেটগুলি পাতলা এবং তাপীয়ভাবে সংবেদনশীল। ল্যাম্পটি দ্রুত র্যাম্প করে তাপ নিয়ন্ত্রণে সঠিক থাকে, তাই আপনি স্ট্যাকটিকে চাপ না দিয়ে সাইকেল সময় সংক্ষিপ্ত করতে পারেন। ফটোরেজিস্ট প্রোফাইলগুলি স্থিতিশীল থাকে, যা অতিক্রমকে স্পেসের মধ্যে রাখে এবং এচ সমালোচনামূলক মাত্রা নিয়ন্ত্রণকে সঙ্গতিপূর্ণ রাখে। শক্তি ব্যবহারের হার কমে যায় কারণ ল্যাম্পটি কেবল লক্ষ্য এলাকাকেই উত্তপ্ত করে, এবং কম পুনঃকাজের লট মানে কম স্ক্র্যাপ। এটি মনে রাখতে হবে। ল্যাম্পটির একটি পরিষ্কার, স্থির পাওয়ার সাপ্লাই এবং একীকরণ পয়েন্টে সঠিক তাপ ব্যবস্থাপনা প্রয়োজন। এটি বেশিরভাগ লিথোগ্রাফি এবং কোটিং ট্র্যাকের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ, তবে ইনস্টলের সময় মাউন্টিং ইন্টারফেস এবং নিয়ন্ত্রণ সংকেতগুলি নিশ্চিত করতে হবে। সফট বেক এবং হার্ড বেক রেসিপি লক করার জন্য একটি সংক্ষিপ্ত কমিশনিং রান পরিকল্পনা করুন, তারপর আপনি ভলিউম বাড়ানোর আগে প্রক্রিয়া জানালাটি যোগ্যতা অর্জন করুন।