ফ্যাব ফ্লোরে, রিন্স-ড্রায়ারটি ক্লিনিং ও লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার ঠিক মাঝখানে অবস্থিত। মাত্র ০.৫°C তাপমাত্রার পরিবর্তনও ওয়েফারে ওয়াটারমার্ক তৈরি করতে পারে; আরও খারাপ হলে, হার্ড বেকিং-এর পর ফটোরেজিস্টগুলো আবার গলে যেতে পারে। আমরা রিন্স-ড্রায়ারের জন্য বিশেষভাবে কোয়ার্টজ হিটার তৈরি করেছি; কারণ এখানে তাপীয় প্রতিক্রিয়া, পরিচ্ছন্নতা ও ধারাবাহিকতাই উৎপাদনশীলতাকে নির্ধারণ করে।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
এর কোরটি হলো শর্ট-ওয়েভ কোয়ার্টজ ইনফ্রারেড এমিটার; এটা দ্রুত তাপ সরবরাহ ও নিয়ন্ত্রণের জন্য ব্যবহৃত হয়। আমরা ওয়েফারের সর্বত্র ±০.১°C তাপীয় সমানতা বজায় রাখতে চাই; তাপমাত্রা ৫০°C থেকে ২৫০°C পর্যন্ত থাকে, আর প্রতিক্রিয়ার সময় ২ সেকেন্ডের কম হয়। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণের ফলে তাপীয় অবস্থা নিয়ন্ত্রণে থাকে; ফলে এটচিং ও CMP প্রক্রিয়ার পর ওয়েফারের কোনো ক্ষতি হয় না। এর কাঠামোটি অত্যন্ত উচ্চ পরিচ্ছন্নতার কোয়ার্টজ দিয়ে তৈরি; এটা ক্লিনরুম ক্লাস ১–১০০-এর সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ। এর পৃষ্ঠটি এমনভাবে ডিজাইন করা হয়েছে যাতে কণা উৎপন্ন না হয়; এটা ২৪/৭ ঘন্টা চলতে পারে, আর কোনো ধরনের তাপীয় পরিবর্তন নেই।
কেন এটা রিন্স-ড্রায়ারের জন্য উপযুক্ত?
রিন্স-ড্রায়ারে দ্রুত ও সমানভাবে তাপ সরবরাহ করা প্রয়োজন—যাতে রিন্সিং জল দ্রুত চলে যায়, আর ওয়েফারের কোনো ক্ষতি না হয়। এই হিটারটি তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করে; ফলে প্রক্রিয়াটি বারবার পুনরাবৃত্তি হয়। এর ফলে সাইকেল সময় কমে যায়, অপ্রয়োজনীয় অংশগুলো কমে যায়, আর কার্যকর ইনফ্রারেড কাপলিং ও কম তাপীয় মাসের কারণে শক্তি ব্যবহারও কম হয়।
ইনস্টলেশন সংক্রান্ত তথ্য
ইনস্টলেশনের ক্ষেত্রে অবস্থান ও দূরত্ব গুরুত্বপূর্ণ। কোয়ার্টজ কভারটি শক্তিশালী, কিন্তু যদি এটাকে যান্ত্রিকভাবে আঘাত করা হয়, তাহলে এটা ভেঙে যেতে পারে। ভোল্টেজ ও কানেক্টরগুলো টুলের নির্দেশাবলী অনুযায়ী সামঞ্জস্য করতে হবে; আর যদি এটা উচ্চ EMI এলাকায় থাকে, তাহলে শিল্ডিং ব্যবহার করতে হবে। সঠিকভাবে ইনস্টল ও পরিচালনা করলে ৫,০০০+ ঘন্টা পর্যন্ত এটা কাজ করতে পারে, আর ক্ষয়ের হার ৫% এর কম থাকবে।