লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ার সময়, ৩০০ মিমি আকারের ওয়েফারটি DNS ক্লিনার থেকে বেরিয়ে এসে ফটোরেজিস্ট বেকের জন্য অপেক্ষা করে। এখানে ±০.৫ °C এর মতো সামান্য তাপমাত্রা পরিবর্তনও গ্রহণযোগ্য নয়; আর ক্লিনরুমটিও অতিরিক্ত কণাগুলোকে সহ্য করতে পারে না। যদি তাপমাত্রায় একটুও পরিবর্তন ঘটে, তাহলে CD-এর নিয়ন্ত্রণ হারিয়ে যায়—ফলে উৎপাদন কমে যায়।
ইনফ্রারেড হিটিংয়ের নির্ভুলতা: সাব-মিলিমিটার স্তরের নির্ভুলতা ও পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা
DNS স্ক্রিন ওয়েফার ড্রায়ার ল্যাম্পটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড এমিটারগুলো দিয়ে তৈরি; এগুলো ফটোরেজিস্টগুলো কীভাবে তাপ শোষণ করে তার উপর ভিত্তি করে কাজ করে। এর ফলে ওয়েফারের সমগ্র পৃষ্ঠে সাব-মিলিমিটার স্তরের নির্ভুলতা বজায় থাকে; আর তাপমাত্রা নির্দিষ্ট সীমার মধ্যেই থাকে। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থার ফলে তাপমাত্রা ঠিক নির্দিষ্ট স্তরেই থাকে; ফলে প্রতিবারই একই ধরনের ফলাফল পাওয়া যায়।
DNS ড্রায়িং/বেকিং প্রক্রিয়ায় এটি কেন কার্যকর?
ল্যাম্পটি DNS ড্রায়িং মডিউলগুলোতে সরাসরি ব্যবহৃত হয়; এটা সংস্পর্শ ছাড়াই দ্রুত ও নির্ভুলভাবে তাপ সরবরাহ করে। এটা Class 1–100 ধরনের পরিবেশে কাজ করে; এখানে কোনো কণা উৎপন্ন হয় না, আর কম গ্যাস নির্গত হয়। এটাই উন্নত প্রযুক্তিতে উৎপাদন বজায় রাখার জন্য প্রয়োজন। ফটোরেজিস্ট বেকিংয়ের তাপমাত্রার নির্ভুলতা প্রক্রিয়াটিকে স্থিতিশীল রাখে; আর দ্রুত তাপ প্রতিক্রিয়ার ফলে প্রক্রিয়ার সময় কমে যায়, আর শক্তি ব্যবহারও কমে যায়। ফলে উৎপাদন কার্যক্ষম থাকে, পুনরাবৃত্তি কমে যায়, আর রক্ষণাবেক্ষণের সময়ও কমে যায়।
ইনস্টলেশন ও অপারেশন সংক্রান্ত নির্দেশাবলী
আগে থেকেই ক্লিনরুম-উপযোগী বৈদ্যুতিক ব্যবস্থা পরিকল্পনা করুন; আর DNS চেম্বারের জানালার সাথে এমিটারগুলোর অবস্থান ঠিক করুন। ভুল অবস্থানের ফলে নির্ভুলতা নষ্ট হয়ে যায়। ল্যাম্পটি পূর্ণ শক্তিতে নির্ভরযোগ্যভাবে কাজ করতে পারে; কিন্তু এমিটারগুলোর জীবনকাল সীমিত। তাই প্রতিরোধমূলক ব্যবস্থা নিন, যাতে অপ্রত্যাশিতভাবে বন্ধ হয়ে না যায়। কাজ শুরু করার আগে DNS টুলটির সংস্করণ যাচাই করুন; আর তাপমাত্রা নির্ধারণ প্রক্রিয়াটি প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তার সাথে মেলে কিনা তা নিশ্চিত করুন।