극자외선(EUV) 리지스트 가열기 부품들

리소그래피 공정에서는 EUV 레지스트 처리 시 열 변동을 용납할 수 없습니다. 소프트 베이크 과정에서 온도가 조금이라도 높아진다면, 하드 베이크 과정에서는 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도가 불균일해집니다. 그 결과 생산성이 점차 감소하게 됩니다. 이러한 문제는 조용히, 그리...