코팅기 개발용 적외선 히터

리소그래피 공정에서는 단 0.2°C라는 미세한 온도 변화만 있어도 CD 값이 변하고, 웨이퍼의 품질에 악영향을 미쳐 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 코팅/현상 장비의 경우, 웨이퍼가 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 거치는 동안 일정한 온도가 유지되어야 합니다....