MEMSセンサーワイヤー乾燥ヒーター

MEMSウェーハの乾燥において、熱風の代わりに赤外線を利用する 長い間、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるための一般的な方法は、その表面に熱風を当てることでした。これは古くから使われてきた方法です。つまり、対流によって熱が表面に伝わり、そうすることで水分が蒸発するのを待つというわけです。 しか...