半導体ウェーハプローブヒーター

Fabフロア上で、ウェハプローブ中の温度逸脱はサイクルタイムを消費するだけに留まらない。ダイをスクラップし、歩留まりを悪化させ、生産ラインの管理を破壊する。ウェハプローブ用ヒーターは、粒子を発生させることなく、揺るぎない熱安定性を保持しなければならない。なぜなら、余分な微粒子はすべて、ブリッジ、シ...