Warum goldbeschichtete Reflektoren für Ihre IR-Anlage wirklich wichtig sind
Wenn Sie Siliziumwafer erhitzen, zählt jedes einzelne Watt. Die meisten Menschen beginnen mit herkömmlichen Aluminiumreflektoren. Diese eignen sich zwar für einfache Aufgaben, doch das Problem ist, dass sie Energie verlieren. Es ist, als würde man versuchen, ein Zimmer warm zu halten, während das Fenster offen steht – die Wärme entweicht einfach dorthin, wo man sie nicht sehen kann.
Deshalb verwenden wir aluminiumbeschichtetes Gold. Dadurch wird der Energieverlust vermieden, und die Infrarotstrahlung wird direkt wieder auf den Wafer geleitet, wo sie hingehört.
Die Wissenschaft dahinter ist ganz einfach:
Aluminium leistet zwar eine gute Arbeit, doch Gold ist besser darin, das Infrarotspektrum zu handhaben. Durch das Hinzufügen einer dünnen Goldschicht sorgen wir dafür, dass die Energie, die von der Rückseite der Lampe ausgeht, nicht einfach im Reflektor verschwindet. Stattdessen wird die Wärmestrahlung gebündelt. Dadurch entsteht ein viel präziserer Temperaturverlauf – und es wird keine Energie mehr verschwendet, um den Rahmen der Maschine zu erhitzen.
Einige Dinge, die bei der Konstruktion zu beachten sind:
Wir verwenden hochwertiges Aluminium für die Basis, damit das Ganze leicht bleibt und nicht überhitzt. Damit das Gold nach einigen Heizzyklen nicht abblättert, wird es mithilfe von Vakuumabscheidung aufgetragen. So bleibt es an Ort und Stelle.
Aber hier kommt die Herausforderung: Man muss auf Kontaminationen achten. Gold ist zwar stabil, aber es verträgt korrosive Gase nicht. Wenn Ihr Prozess besonders aggressiv ist, sollten Sie einen Quarzschild verwenden, um zu verhindern, dass die Beschichtung beschädigt wird.
Was das für Ihre Wafer bedeutet:
Das Beste daran: Sie können die Leistung der Lampe senken und trotzdem die gewünschte Oberflächentemperatur erreichen. Da die Lampen nicht bis an ihre Grenzen belastet werden, brennen die Filamente auch nicht so schnell aus. Das ist ein Vorteil für Ihren Wartungsplan.
Wenn Sie ein neues System entwerfen, haben Sie dadurch mehr Freiraum. Sie können entweder die Leistung der Stromversorgung verringern oder versuchen, schnellere Erhitzungsraten zu erreichen.
Nur eine Warnung: Überprüfen Sie unbedingt Ihre Kühlung. Wenn so viel Energie an einem Punkt konzentriert wird, wird es sehr heiß. Wenn die Zeiten nicht stimmen, besteht die Gefahr, dass die dünnen Substrate beschädigt werden.