生物传感器制造红外灯

在线生产节奏紧凑且持续不断。一个生物传感器晶圆从涂覆进入曝光，再进入烘烤线。光刻胶必须每次都在正确的温度范围内着陆，且这个范围非常严格。温度偏差几度，场内出现热点，就会失去线宽控制，烘烤薄膜产生应力，甚至更严重的是：颗粒导致良率崩盘。红外加热在这里不是可有可无的，它是工艺的热脉搏。只要这脉搏稳定，...