Trên sàn sản xuất, sự lệch nhiệt độ 0,5°C trong quá trình nướng photoresist đủ để thay đổi kích thước quan trọng chỉ bằng nanomet và làm tăng số lượng hạt bụi. Chúng tôi đã chế tạo bộ gia nhiệt hồng ngoại trong phòng sạch để ngăn chặn sự biến động đó ngay từ nguồn gốc. Nó khóa vào hồ sơ nhiệt ngay tại wafer, không chỉ là không khí trong buồng, vì vậy quá trình nướng mềm và nướng cứng vẫn nằm trong ngân sách nhiệt của công nghệ in lithography tiên tiến.
Những điều quan trọng về mặt kỹ thuật
Chúng tôi sử dụng hồng ngoại sóng ngắn với phản ứng nhanh và kiểm soát quang phổ chặt chẽ, phù hợp với sự hấp thụ của các lớp photoresist phổ biến mà bạn thấy mỗi ngày. Trên bề mặt chuck, độ đồng nhất trên wafer giữ ở ±0,1°C, và khả năng lặp lại ổn định qua các chu kỳ. Nó hoạt động trong Class 1–100 mà không tạo ra hạt bụi, nhờ vào cụm phát quang bằng thạch anh kín, cách nhiệt gốm cao cấp và thiết kế không có ống xả. Công suất ra ổn định từ 100 W đến 2,5 kW, và chúng tôi đã chứng minh độ tin cậy 24/7 qua hơn 5.000 giờ với mức giảm công suất dưới 5%.
Tại sao nó hoạt động tốt trong quy trình thực tế
Trong quá trình xử lý photoresist, độ chính xác nhiệt độ thúc đẩy việc loại bỏ dung môi, căng thẳng phim và kiểm soát kích thước quan trọng (CD). Bộ gia nhiệt đạt điểm cài đặt nhanh, vì vậy thời gian nướng ngắn hơn, và nó giữ cho sự giao thoa nhiệt không ảnh hưởng đến các công cụ liền kề. Bạn sẽ có được phân bố CD chặt chẽ hơn, ít lô phải làm lại hơn, và tiêu thụ năng lượng thấp hơn vì việc truyền nhiệt là hiệu quả và công suất chờ thấp. Năng suất dự đoán. Một khoảng thời gian quy trình mà bạn có thể tin tưởng.
Các chi tiết thực tế mà bạn cần lập kế hoạch
Việc lắp đặt phụ thuộc vào việc phù hợp với kích thước cơ khí và giao diện điện của công cụ—thông thường là điều khiển 24 V với cách ly tuân thủ CE. Bộ gia nhiệt hoạt động tốt nhất khi khoảng cách đến wafer được cố định trong khoảng ±2 mm; khoảng trống lớn hơn sẽ làm giảm cường độ và có thể mở rộng dải đồng nhất. Hãy lập kế hoạch cho việc gắn kết tương thích với phòng sạch, và giữ lịch kiểm tra cửa sổ để duy trì hiệu suất bức xạ và hạt bụi.