Ngăn chặn những mảnh vỡ: Giữ cho buồng kiểm soát môi trường luôn sạch sẽ
Nếu bạn đang vận hành các thiết bị sản xuất bán dẫn với công suất cao, bạn chắc hẳn biết rõ những hậu quả khủng khiếp có thể xảy ra. Đèn hồng ngoại có thể bị hỏng bất cứ lúc nào; lúc đó, những mảnh thủy tinh và sợi wolfram sẽ rơi xuống các tấm wafer, gây hư hại nghiêm trọng.
Điều tồi tệ không chỉ nằm ở việc máy phải ngừng hoạt động mà còn ở việc môi trường sản xuất bị ô nhiễm nghiêm trọng. Đó chính là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các linh kiện hồng ngoại theo cách riêng của mình.
Giải quyết vấn đề nhiệt độ
Hầu hết các loại đèn đều bị hỏng do không thể chịu được sự thay đổi nhiệt độ đột ngột, hoặc do xuất hiện những điểm nóng nguy hiểm. Để tránh điều này, chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao. Loại thạch anh này không bị giãn nở hay co lại quá mức, vì vậy nó có thể chịu được những dao động nhiệt độ mạnh mà không bị nứt vỡ.
Ngăn chặn sự lộn xộn
Chúng tôi áp dụng hai bước để giữ cho khu vực sản xuất luôn sạch sẽ. Đầu tiên, chúng tôi phủ một lớp phủ đặc biệt lên bề mặt thạch anh. Điều này giúp ổn định quá trình phát sáng và ngăn ngừa sự xuất hiện của các vết ố trên bề mặt. Sau đó, chúng tôi sử dụng các nắp đậy cứng cáp. Những nắp đậy này giúp ngăn không cho khí halogen thoát ra ngoài.
Ngay cả khi đèn bị hỏng – điều mà chúng tôi cố gắng tránh – thì những nắp đậy này vẫn giúp ngăn không cho các mảnh vỡ bay tung khắp khu vực sản xuất. Nhờ vậy, thảm họa có thể được kiểm soát và dễ dàng dọn dẹp hơn.
Thực tế
Luôn có sự đánh đổi trong việc sử dụng các linh kiện này. Chúng tạo ra lượng nhiệt rất lớn. Nếu bạn không cẩn thận, chúng có thể làm biến dạng các bộ phận trong buồng kiểm soát môi trường. Bạn cần đảm bảo rằng hệ thống thông gió và hệ thống làm mát có thể xử lý được lượng nhiệt này. Nếu bạn lơ là việc làm mát, các bộ phận của đèn sẽ bị hỏng nhanh hơn dự kiến.
Lời khuyên tốt nhất của tôi là hãy tuân thủ lịch bảo trì nghiêm ngặt. Hãy kiểm tra xem các điện cực có bị oxi hóa hay không trước khi chúng bị hỏng hoàn toàn. Việc thay thế linh kiện sẽ dễ dàng hơn nhiều so với việc lau chùi các mảnh vỡ trong buồng kiểm soát môi trường.