Trên khu vực in ấn bằng phương pháp litography, một sự thay đổi nhiệt độ dù chỉ 0,2°C cũng có thể khiến độ chính xác của kích thước wafer giảm sút, gây ra các vấn đề trong quá trình sản xuất. Các thiết bị phun màu/diệt màu cần được cung cấp nhiệt độ một cách nhanh chóng và ổn định, để wafer có thể trải qua quá trình nung ở nhiệt độ cao một cách hiệu quả. Khi các bộ sưởi IR không hoạt động tốt, điều đó sẽ dẫn đến lãng phí nguyên liệu, phải làm lại công việc, và gây ra gián đoạn trong quá trình sản xuất.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi thiết kế các bộ sưởi IR này dựa trên nguyên lý phát sóng ánh sáng hồng ngoại gần (NIR). Nhờ đó, năng lượng được truyền trực tiếp vào lớp phim phản quang. Điều này giúp đạt được tốc độ phản ứng nhiệt trong vài giây, và độ đồng đều của nhiệt độ trên toàn bộ khu vực nung là ±0,1°C. Độ ổn định của nhiệt độ được kiểm soát chặt chẽ, vì vậy mỗi lô sản phẩm đều nhận được cùng mức nhiệt độ như nhau.
Thiết kế bộ phát sáng bằng thủy tinh thạch anh giúp loại bỏ các hạt bụi, vì vậy nó có thể được sử dụng trong các phòng sạch loại 1–100. Hệ thống điều khiển hoạt động theo nguyên lý vòng khép kín, với các cảm biến được hiệu chuẩn chính xác, giúp duy trì nhiệt độ ổn định suốt thời gian hoạt động.
Tại sao nó phù hợp với quy trình sản xuất Bộ sưởi này được thiết kế riêng cho các máy phun màu/diệt màu: nó có thể đạt được nhiệt độ cần thiết một cách nhanh chóng, duy trì nhiệt độ đó trong suốt quá trình nung, và làm mát wafer một cách hiệu quả. Điều này giúp kiểm soát độ chính xác của kích thước wafer một cách tốt hơn, đồng thời giảm thiểu các vấn đề liên quan đến viền wafer.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu, vì năng lượng hồng ngoại được cung cấp theo nhu cầu, giúp giảm thiểu lượng nhiệt lãng phí. Độ tin cậy của thiết bị đã được chứng minh trong quá trình sản xuất – các thiết bị này có thể hoạt động trong hơn 5.000 giờ mà ít gặp sự cố, điều này giúp giảm chi phí bảo trì và giá thành sản xuất mỗi wafer.
Những yếu tố cần chú ý khi lắp đặt Quá trình lắp đặt đòi hỏi sự đối齐 chính xác về ánh sáng và một buồng sạch, có khả năng phản xạ ánh sáng tốt. Nếu những yếu tố này không được đáp ứng, sẽ xuất hiện các điểm nóng và sự không đồng đều về nhiệt độ.
Bộ sưởi này hoạt động tốt với các máy phun màu/diệt màu thông thường, nhưng bạn vẫn cần kiểm tra kỹ lưỡng các chi tiết liên quan đến việc lắp đặt, kích thước lỗ thông khí, và giao diện điều khiển, sao cho phù hợp với máy móc và quy trình sản xuất của bạn. Hãy thực hiện một vài thử nghiệm ngắn trước khi bắt đầu sản xuất, để đảm bảo rằng mọi thứ hoạt động ổn định.