Bảo vệ các linh kiện khi vệ sinh wafer
Khi bạn đun nóng các wafer trong quy trình vệ sinh bằng hóa chất, thực chất bạn đang “chơi với lửa” – hoặc ít nhất là với những hơi khí có nguy cơ gây nổ. Các loại đèn hồng ngoại thông thường không thể chịu được áp lực như vậy; chúng sẽ gây ra thảm họa.
Để giải quyết vấn đề này, chúng tôi bọc các bộ phận gia nhiệt bằng loại vật liệu đặc biệt. Vật liệu này giúp ngăn các chất hóa học tiếp xúc với nguồn nhiệt, nhưng vẫn cho phép nhiệt lượng truyền đến nơi cần thiết.
Bí mật nằm ở việc đảm bảo độ kín của thiết bị
Chúng tôi không muốn mạo hiểm với bất kỳ tia lửa nào. Chúng tôi bọc các ống thủy tinh bằng lớp vật liệu chống hóa chất, và sử dụng các keo kín ở các điểm nối giữa các điện cực. Tại sao ư? Bởi vì nếu các khí nguy hiểm thấm vào bên trong đèn, bạn sẽ gặp rất nhiều vấn đề nghiêm trọng. Việc độ kín của thiết bị không tốt không chỉ là lỗi kỹ thuật, mà còn là mối nguy hiểm thực sự. Đó là lý do tại sao chúng tôi sử dụng những vật liệu có khả năng chịu đựng được các chất tẩy rửa ăn mòn mà vẫn giữ được tính chức năng của mình.
Đảm bảo nhiệt độ phù hợp
Những chiếc đèn này sử dụng bức xạ hồng ngoại tầng sóng ngắn. Điều này giúp việc đun nóng wafer diễn ra nhanh chóng. Nhờ đó, wafer sẽ không phải ở trong “vùng nguy hiểm” với những biến đổi nhiệt độ quá mức. Chúng tôi đã dành nhiều thời gian để điều chỉnh công suất sao cho wafer đạt được nhiệt độ phù hợp mà không làm hỏng vỏ bọc bảo vệ. Lưu ý: hãy đảm bảo rằng nguồn điện cung cấp có điện áp phù hợp với đèn. Nếu không, đèn sẽ bị hỏng sớm.
Lắp đặt và duy trì hoạt động của đèn
Chúng tôi thiết kế những chiếc đèn này để thay thế trực tiếp cho các mô-đun vệ sinh hiện có của bạn. Tuy nhiên, chúng hơi to hơn so với những chiếc đèn thông thường. Đó là cái giá phải trả để đảm bảo độ an toàn của thiết bị. Trước khi lắp đặt, hãy kiểm tra kỹ khoảng trống bên trong thiết bị để tránh tình trạng chật chội.
Sau khi lắp đặt, hãy theo dõi kỹ các lớp vật liệu bọc bên ngoài đèn. Nếu phát hiện có vết nứt, hãy ngay lập tức rút đèn ra khỏi thiết bị. Chúng tôi cũng sử dụng các đầu nối chắc chắn, vì máy móc dùng để vệ sinh thường rung động khá mạnh. Chúng tôi không thể để dây điện bị lỏng lẻo, gây ra tình trạng phóng điện trong môi trường đầy chất hóa học dễ cháy nổ. Đó là điều hiển nhiên thôi.