لیتھوگرافی کے عمل میں، EUV ریزسٹ کی پروسیسنگ کے دوران حرارتی تغیرات کو برداشت نہیں کیا جاسکتا۔ اگر ہیٹر کی درجہ حرارت تھوڑی سی بھی زیادہ ہو جائے، تو اس سے ویفر پر خرابیاں پیدا ہو جاتی ہیں۔ اس طرح پیداوار میں کمی واقع ہوتی ہے، اور یہ کمی بار بار دہرائی جاتی ہے۔ ریزسٹ کے نیچے موجود ہیٹر کو ہر بار یکساں درجہ حرارت فراہم کرنا ضروری ہے، تاکہ کوئی ذرات پیدا نہ ہوں اور عمل میں کوئی رکاوٹ نہ آئے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم EUV ریزسٹ ہیٹر کو کنٹرولڈ انفراریڈ ذرائع کے ساتھ بناتے ہیں؛ یعنی شارٹ-ویو اور میڈیم-ویو انفراریڈ ذرائع، جن کے ساتھ کوارٹز ونڈوز اور ہیلوجن عناصر بھی استعمال کیے جاتے ہیں، تاکہ مستحکم سپیکٹرل آؤٹ پٹ حاصل کیا جاسکے۔ اس کے نتیجے میں ریزسٹ کی سطح پر درجہ حرارت ±0.1°C کے اندر یکساں رہتا ہے، اور بیکنگ پروسیس بھی مطلوبہ معیار کے مطابق ہوتا ہے۔ یہ ڈیوائس کلاس 1–100 کے کلین روم ماحول کے لئے مناسب ہے، اور اس میں استعمال ہونے والے مواد اور سطحی عمل بھی ایسے ہیں کہ عمل کے دوران کوئی ذرات پیدا نہ ہوں۔ آؤٹ پٹ بھی معیاری پاور اور وولٹیج کے مطابق ہوتا ہے، اور کنکٹر آپشنز بھی موجود ہیں، تاکہ تبدیلی کے دوران کسی قسم کی تبدیلی کی ضرورت نہ پڑے۔
EUV ریزسٹ کے لئے یہ کیوں مفید ہے؟
EUV ریزسٹ بہت پتلے ہوتے ہیں، اور ان کے لئے حرارتی کنٹرول بہت اہم ہے۔ درستگی، زیادہ طاقت سے بہتر ہے۔ ہم بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کو اسی سطح پر رکھتے ہیں جو پروسیس کے معیارات کے مطابق ہے، نہ کہ حرارتی تغیرات کی وجہ سے۔ اس سے کریٹیکل ڈائمینشنز پر بہتر کنٹرول حاصل ہوتا ہے، خرابیاں کم ہوتی ہیں، اور پیداوار میں بہتری آتی ہے۔ اسی طرح، ہیٹر 24/7 کام کرتا رہتا ہے، بغیر کسی رکاوٹ کے – کوئی ہاٹ اسپاٹ نہیں، کوئی انٹرلاک نہیں، کوئی اچانک مرمت کی ضرورت نہیں۔
آپ کو کیا منصوبہ بندی کرنے کی ضرورت ہے؟
اسے معیاری ٹریکس پر آسانی سے نصب کیا جاسکتا ہے، لیکن ہیٹر کو چیمبر کی ساخت اور انفراریڈ راستے کے مطابق ہونا ضروری ہے۔ بیکنگ پروسیس کو درست کرنے اور یکساںتا کی تصدیق کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ اس کی عمر بہت طویل ہے – 5,000+ گھنٹے – لیکن پھر بھی ±0.1°C کے اندر درجہ حرارت کو برقرار رکھنے کے لئے پیشگیرانہ کیلیبریشن ضروری ہے۔ اس کیلیبریشن کو منصوبے میں شامل کرنا ضروری ہے؛ اس سے ہر بار مستحکم EUV عمل حاصل ہوتا ہے۔