На етапі літографії навіть зміна температури на 0,5°C може призвести до зміщення профілю фотополімеру на кілька нанометрів – а це, у свою чергу, призводить до зниження якості готового продукту. Ми створили двоканальну інфрачервону лампу для тих етапів обробки, коли температурний режим є критично важливим. Вона заповнює прогалину між загальними термічними засобами та точністю, необхідною для процесу, забезпечуючи стабільне нагрівання саме там, де це потрібно.
Що є важливим у цій системі
Система працює за допомогою двох короткохвильових інфрачервоних ламп з кварцовими оболонками, які забезпечують швидку реакцію та стабільну емісію тепла. Час реакції становить менше секунди, тож профілі температури залишаються стабільними під час процедур нагрівання. У освітленій зоні однорідність температури на поверхні пластини становить ±0,1°C, а стабільність температури залишається такою ж у кожному циклі. Головка лампи розроблена для використання в чистих кімнатах класу 1–100; матеріали та з’єднання забезпечують мінімальне утворення частинок. Ефективність лампи залишається стабільною протягом 5 000+ годин, зі зниженням ефективності менше ніж на 5%, тож параметри процесу не змінюються між періодами технічного обслуговування.
Чому ця система підходить для обробки фотополімерів
Під час обробки фотополімерів потрібне швидке нагрівання, стабільна температура та відсутність будь-яких змін під час процесу. Двоканальна конструкція лампи дозволяє швидко досягти необхідної температури, що дозволяє скоротити час обробки без пошкодження фотополімеру. Це забезпечує кращий контроль критичних розмірів, меншу кількість необхідних корекцій та стабільні температурні профілі на всій поверхні пластини. Також економиться енергія, оскільки лампа нагрівається лише при необхідності та швидко охолоджується – без зайвих втрат.
Що потрібно врахувати під час встановлення та експлуатації
Для встановлення потрібен спеціалізований джерело живлення та правильне розташування лампи, щоб профіль нагрівання залишався стабільним. Лампа підходить для більшості стандартних літографічних пристроїв, але необхідно перевірити її інтеграцію з пристроєм щодо сигналізації та забезпечення безпеки. Робота в умовах низької вологості покращує довготривалу стабільність; у вологому середовищі необхідно перевірити систему відведення вологи, щоб на кварцовій оболонці не утворювався конденсат.