В системах на основе тонкослойных солнечных элементов нет возможности для колебаний температуры. Изменение температуры на 0,5°C во время процесса высушивания может привести к изменению напряжений в структуре устройства, что, в свою очередь, снижает его эффективность. Необходимо использовать лампы-осушители, которые контролируют температуру как параметр, подлежащий точному регулированию, а не как величину, определяемую случайно.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы разработали лампы-осушители с использованием коротковолновых инфракрасных излучателей, настроенных таким образом, чтобы они соответствовали способу поглощения света органическими веществами и тонкослойными структурами. Это обеспечивает быстрое нагревание всей поверхности пластины без ее повреждения. В рамках активной зоны однородность температуры сохраняется в пределах ±0,1°C, что позволяет сохранять требуемые размеры после литографии.
Соответствие требованиям чистых помещений также обеспечивается: используются материалы класса 1–100, отсутствует выброс газов, а конструкция устройства не позволяет проникновению частиц в процесс. Повторяемость результатов достигается благодаря закрытой системе контроля; это позволяет сохранять одинаковый тепловой профиль при каждом цикле обработки.
Почему это работает
У тонкослойных солнечных элементов очень ограниченный тепловой бюджет, а допустимые отклонения еще меньше, чем толщина самых слоев. Эти лампы позволяют точно контролировать температуру во время процесса высушивания, сохраняя необходимый уровень температуры.
Это обеспечивает стабильную производительность, снижение количества браков и надежную работу устройства. Тепло направляется только туда, где оно необходимо, что снижает расход энергии. Надежность устройства подтверждается его способностью работать более 5000 часов с снижением производительности менее чем на 5%.
Что стоит знать
Габариты устройства компактные, но тепловая нагрузка высока. Необходимо подключить его к существующим системам вентиляции и охлаждения – излучатели нуждаются в стабильном охлаждении для поддержания однородности температуры в пределах ±0,1°C.
Время прогрева минимально, стабилизация происходит быстро, после чего устройство работает в стабильном режиме. Необходимо правильно подобрать лампу к интерфейсу оборудования и структуре подложки, чтобы сохранить стабильность процесса.