На этапе литографии пластина диаметром 300 мм только что выходит из устройства для очистки DNS и ожидает процедуры обработки фоторезистом. Установка не может терпеть отклонения температуры более ±0,5 °C; кроме того, в чистой комнате недопустима наличие лишних частиц. Даже небольшие отклонения температуры приводят к потере контроля над параметрами процесса, а значит — и к снижению производительности.
Точность инфракрасного нагрева: однородность и повторяемость на уровне субмиллиметра
Лампы для сушки пластин в устройстве DNS оснащены излучателями коротковолнового инфракрасного излучения, настроенными таким образом, чтобы они соответствовали спектру поглощения света фоторезистом. Это обеспечивает однородность температуры на всей поверхности пластины на уровне субмиллиметра, а также возможность точного контроля температуры во время процедур сушки. Система закрытого цикла позволяет поддерживать температуру именно в тех значениях, которые требуются по технологической карте. Благодаря этому каждая партия продукции получает одинаковые условия обработки.
Почему это работает в устройстве DNS
Лампы могут использоваться напрямую в модулях сушки DNS, обеспечивая быстрое и эффективное нагревание без контакта с пластиной. Они работают в условиях класса чистоты 1–100, при этом не выделяют частиц и имеют минимальный уровень выделения газов. Именно это необходимо для сохранения производительности на сложных технологических этапах. Высокая точность контроля температуры способствует стабильности процесса, а быстрая реакция на изменения температуры сокращает время обработки и экономит энергию. В результате достигается стабильная работа оборудования, менее случаев переработки продукции, а также возможность планирования периодов технического обслуживания.
Инструкции по установке и эксплуатации
Заранее спланируйте проводку электропитания, соответствующую стандартам чистой комнаты. Также необходимо тщательно проверить правильность расположения излучателей относительно окон чехлов устройства DNS – ошибки в расположении могут повлиять на однородность температуры. Лампы могут работать с полной мощностью, но у них есть ограниченный срок службы. Необходимо запланировать замену ламп заранее, чтобы избежать неплановых простоев. Перед началом работы убедитесь, что версия оборудования DNS соответствует требованиям технологической карты, а диапазон значений температуры соответствует требованиям процесса.