Почему мы используем инфракрасные лампы с золотым покрытием на производствах полупроводников
При обработке полупроводниковых пластин необходимо выделять огромное количество тепла. Все мы слышали о «зеленых заводах» и цели по достижению углеродной нейтральности, но на практике это сводится к одному — необходимо избегать расточительства энергии.
Цель состоит в том, чтобы направить тепло именно туда, где оно нужно — в сам материал подложки, не нагревая при этом всю конструкцию аппарата.
Секрет золотого покрытия
Стандартные кварцевые лампы распространяют тепло во все стороны. Чтобы решить эту проблему, мы наносим на кварц тонкий слой золота. Это своего рода фильтр: золото отражает длинноволновое излучение обратно в нитку накала, в то время как коротковолновое инфракрасное излучение проходит через него. Таким образом получается сосредоточенный пучок энергии. Не тратится энергия на нагрев воздуха или вакуумной камеры. Когда мы перестаем бороться с окружающей средой, снижается расход энергии. Это самый простой способ сокращения углеродного следа производства.
Мощность, скорость и риски
Мы создаем такие лампы для высокой плотности мощности. Они работают при высоких значениях мощности, потому что скорость имеет решающее значение. Если можно мгновенно выделить тепло, это сокращает время обработки и предотвращает деформацию пластин.
Быстрая обработка означает, что за каждый киловатт-час вы получаете больше результатов.
Но есть и недостатки. Такая интенсивность создает много локальных очагов нагрева. Если система охлаждения не справляется с задачей, возникают серьезные проблемы: повреждаются соединители или крепления.
Установка и эксплуатация ламп
Эти лампы разработаны так, чтобы их было легко устанавливать. Фактически они являются заменой существующим нагревательным элементам. Концы лампы имеют точные размеры, поэтому они плотно встраиваются в рефлектор без каких-либо проблем.
Но необходимо быть очень аккуратными с чистотой. Золотое покрытие чрезвычайно чувствительно к загрязнениям. Даже одна отпечаток пальца или капля масла на кварце могут создать очаг нагрева. А очаг нагрева может разрушить лампу уже при первом включении. Поэтому мы поставляем их в упаковке, предназначенной для использования в чистых помещениях. Даже одна пылинка может испортить всю лампу.