FOUP (전면 개방 통합 포드) 드라이어

리소그래피 층에서 FOUP를 열면 위험이 보이기도 전에 다가온다. 잔류 수분. 로트 전반에 걸쳐 온도가 균일하지 않은 포토레지스트. 소프트 베이크 온도가 단 2°C만 벗어나도 수 시간 동안 라인폭 편차를 추적하게 된다. 대량 생산 팹에서는 이러한 열 변동성이 단순히...