유연 디스플레이 라인에서의 열 제어에 따른 수율
소프트 베이크가 2°C만 변동해도 CD 균일성이 떨어집니다. 하드 베이크가 너무 뜨겁거나 차가우면 저항 프로파일이 예측할 수 없게 되고, 에칭 전이도 불규칙해집니다. 건조 램프는 단순한 열원일 수 없으며, 적절한 공정 기기처럼 작동해야 합니다.
주요 사항
우리는 NIR을 기반으로 한 건조 램프를 설계했으며, 신속하고 비접촉식 가열을 위해 석영 광학을 사용했습니다. 조명 영역 전반에 걸쳐 웨이퍼 수준의 균일성은 ±0.1°C를 유지하여 모든 소프트 베이크 및 하드 베이크가 동일한 열 예산을 갖도록 합니다. 이는 클린룸 Class 1–100에 맞게 설계되었으며, 안정적인 작동 하에서 저가스 방출 및 제로 파티클 생성을 보장합니다. 램프는 예측 가능한 출력을 유지하며, 24/7 작동할 수 있습니다. 반복 가능성은 로트마다 유지됩니다.
유연 디스플레이 팹에서의 작동 원리
기판은 얇고 열에 민감합니다. 램프는 제어를 유지하면서 빠르게 가열하므로 사이클 타임을 단축할 수 있으며 스택에 스트레스를 주지 않습니다. 포토레지스트 프로파일은 안정적으로 유지되어 오버레이가 규격 내에 있으며, 에칭의 주요 치수 제어가 일관되게 유지됩니다. 에너지 사용량은 램프가 목표 영역만 가열하므로 감소하며, 재작업 로트가 줄어들어 폐기물이 감소합니다.
유의사항
램프는 클린하고 안정적인 전원 공급 및 통합 지점에서 적절한 열 관리를 필요로 합니다. 대부분의 리소그래피 및 코팅 트랙과 호환되지만, 설치 중에 장착 인터페이스 및 제어 신호를 확인해야 합니다. 소프트 베이크 및 하드 베이크 레시피를 고정하기 위해 짧은 시운전을 계획한 후, 대량 생산을 진행하기 전에 공정 창을 검증하십시오.