리소그래피 공정에서는 단 0.2°C라는 미세한 온도 변화만 있어도 CD 값이 변하고, 웨이퍼의 품질에 악영향을 미쳐 생산 효율이 급격히 떨어집니다. 코팅/현상 장비의 경우, 웨이퍼가 소프트 베이크 및 하드 베이크 과정을 거치는 동안 일정한 온도가 유지되어야 합니다. 만약 IR 히터에 문제가 생기면, 그로 인해 폐기물이 발생하거나 재작업이 필요해지며, 생산 중단이 발생할 수도 있습니다.
핵심은 무엇인가? 우리는 근적외선(NIR) 방식을 활용하여 이러한 코팅/현상용 IR 히터를 설계했습니다. 이를 통해 에너지가 직접 포토레지스트로 전달됩니다. 따라서 수백 분의 1초 만에 온도가 조절되며, 베이크 구역 전체에서 온도의 일관성은 ±0.1°C 수준을 유지합니다. 온도의 반복성도 매우 뛰어나므로, 모든 웨이퍼가 동일한 온도 조건을 경험하게 됩니다.
쿼츠 기반의 발열체는 입자가 생성되지 않아, 클래스 1–100 등급의 청정실에서도 안정적으로 작동합니다. 제어는 클로즈드-루프 방식으로 이루어지며, 정밀하게 보정된 센서와 설정값을 통해 24시간 내내 일정한 온도가 유지됩니다.
왜 이 제품이 적합한가? 이 히터는 코팅/현상 공정에 최적화되어 있습니다. 목표 온도에 빠르게 도달하고, 베이크 과정 동안 그 온도를 유지하며, 필요할 때 즉시冷却됩니다. 그 결과, 처리 속도가 저하되는 것을 방지할 수 있습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크 과정에서도 온도가 일정하게 유지되므로, CD 값을 정확하게 제어할 수 있으며, 웨이퍼의 가장자리 부분에서 발생하는 문제도 줄어듭니다.
NIR 에너지가 필요할 때만 공급되므로 에너지 사용량이 줄어듭니다. 또한, 실제 생산 환경에서도 신뢰성이 입증되었습니다. 이 히터는 5,000시간 이상 연속적으로 작동해도 성능 저하가 거의 없으므로, 예비 부품의 필요성이 줄어들고, 유지보수 비용도 낮아집니다.
주의해야 할 사항 설치 시에는 정확한 광학 정렬과 깨끗하고 반사율이 높은 공간이 필요합니다. 이 요건이 충족되지 않으면 온도 불균일성이 발생할 수 있습니다.
이 히터는 표준적인 코팅/현상 장비와 호환되지만, 설치 방식, 개구부 크기, 제어 인터페이스 등은 해당 장비와 공정에 맞게 확인해야 합니다. 생산에 들어가기 전에 설정값을 확정하고 온도 분포를 확인하기 위해 짧은 테스트를 진행하는 것이 좋습니다.