バイオセンサー製造用赤外線ランプ

ライン上ではリズムが途切れない。バイオセンサー用ウェーハはコートから露光へ、そしてベイクトラックへと流れていく。フォトレジストは毎回、厳密な温度範囲内で適切な温度に達していなければならない。数度のズレ、フィールド全体のホットスポットが生じると、ライン幅制御を失い、膜に応力を残し、最悪の場合は歩留ま...