なぜ、スマートファブには赤外線加熱が最適なのか
新しいスマートファブを構築する際は、古い抵抗式ヒーターの使用はやめましょう。それらは使いづらく、非効率的です。データシステムと連携できるシステムを望むなら、赤外線加熱が最適です。
真空環境下での加熱の現実
真空環境では、熱を移動させるための空気がありません。対流も起こりません。したがって、放射に頼るしかありません。
私たちの赤外線加熱システムは、部屋全体を温めるのに時間を費やしません。直接ウェハーを加熱します。これは、フラッドライトの代わりにスポットライトを使うようなものです。チャンバーの壁が余計なエネルギーを吸収するのを待つ必要がないため、加熱時間が大幅に短縮されます。熱はウェハーに直接当たります。シンプルです。
「スマート」にするために
現代のファブでは、リアルタイムで反応できることが求められます。私たちは、PLCで制御される電源装置と連携して動作するヒーターを開発しています。そうすれば、ワット数を即座に調整できます。
1回の処理に適した温度プロファイルをプログラムし、瞬時に別のプロファイルに切り替えることができます。もう手動での調整や推測は不要です。さらに、高密度のフィラメントを使用しているため、ハードウェアのサイズが小さくなります。その結果、センサーやロボットアームが機能するためのスペースが確保されます。
デメリット（話したくない部分）
高ワット数のランプは強力ですが、冷却システムに大きな負担をかけます。高速な処理を実現したい場合、水冷ジャケットやヒートシンクがその熱を処理できるかどうかを確認する必要があります。そうしないと、ランプが早期に壊れたり、真空シールが劣化したりします。バランスを取る必要があります。
運用方法
これらをデジタルグリッドに接続すれば、何が起こっているかを正確に把握できます。各装置がどれだけのエネルギーを消費しているかがわかります。各加熱サイクルの記録も残ります。これは、単に最善を願うだけの古いタイマーよりもずっと優れています。ついに、チャンバー内で実際に何が起こっているかを確認できるのです。