בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לשינוי של ננומטרים בתכונות הפוטורזיסט – ושינוי קטן כזה עלול לגרום לירידה באיכות המוצר. פיתחנו מנורת חימום באינפרא-אדום בעלת שני צינורות, עבור השלבים בהם השליטה בטמפרטורה היא חיונית. מנורה זו ממלאת את החסר בין הכלים התרמיים הרגילים לבין הדיוק הנדרש בתהליך, ומאפשרת חימום אחיד בדיוק במקום בו הוואפר זקוק לכך.
מה חשוב באמת? המערכת משתמשת בשני צינורות אינפרא-אדום בעלי גל ארוך, עם מעטפות מקוורץ, שנבחרו בגלל התגובה המהירה והיכולת היציבה שלהם להפיק חום. זמן התגובה נמוך משנייה, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת במהלך החימום. באזור המואר, האחידות של הטמפרטורה על פני הוואפר נשמרת ברמה של ±0.1°C, והיציבות של הטמפרטורה נשמרת מחיצוב לחיצוב. ראש המנורה מותאם לחדרי ניקיון מסוג Class 1–100, עם חומרים וחיבורים שמונעים ייצור של חלקיקים. ההספק של המנורה נשאר יציב לאורך יותר מ-5,000 שעות, עם ירידה של פחות מ-5%, כך שהטמפרטורה לא משתנה בין תקופות התחזוקה.
למה זה יעיל בתהליך הפוטורזיסט? בתהליך הפוטורזיסט, יש צורך בחום שמגיע במהירות, נשאר יציב, ולא משאיר שום דבר מאחור. העיצוב עם שני צינורות מאפשר חימום מהיר, כך שניתן לקצר את זמן החימום מבלי לפגוע באיכות הפוטורזיסט. התוצאה היא שליטה מדויקת יותר בממדים החשובים, פחות צורך בעבודה חוזרת, וטמפרטורה יציבה בכל חלקי הוואפר. בנוסף, חוסכים אנרגיה, מכיוון שהמנורה מתחממת רק כשצריך, ומתקררת במהירות – ללא בזבוז אנרגיה.
מה צריך לקחת בחשבון בהתקנה ובתפעול? ההתקנה דורשת מקור אנרגיה ייעודי ומוגן, וכן בדיקה של המרחקים הנדרשים כדי שהטמפרטורה תהיה במקום הנכון. המנורה יכולה לעבוד עם רוב הציודים הסטנדרטיים לליתוגרפיה, אך יש לוודא את האינטגרציה עם הציוד האחר, כולל חיבורי חיווי ובקרה. פעולה בסביבה בעלת לחות נמוכה משפרת את היציבות לטווח ארוך; בסביבות לחותיות, יש לוודא שהאוויר החם יוצא מהמנורה, כדי שלא ייווצר קירור על המעטפות המקוורץ.