בחדר הנקי, הוופר בגודל 300 ממ יוצא ממכשיר הניקוי DNS, ומחכה שייעשה בו טיפול באמצעות חומר פוטורזיסט. המכונה אינה יכולה לסבול שינויי טמפרטורה של ±0.5 מעלות צלזיוס, וחדר הנקי אינו יכול לסבול חלקיקים עודפים. אם הטמפרטורה משתנה אפילו במעט, נפגעת השליטה באיכות המוצר – וכתוצאה מכך יורדת רמת התפוקה.
דיוק בחימום באמצעות קרינת אינפרא-אדום: אחידות וחזרתיות ברמה של פחות ממילימטר אחד
מנורת הייבוש של DNS מבוססת על גופי פליטה של קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, המותאמים לרמת הספיגה של חומר הפוטורזיסט. דבר זה מאפשר אחידות טמפרטורית ברמה של פחות ממילימטר אחד על כל שטח הוופר, וכן שליטה יציבה בטמפרטורה במהלך תהלי הייבוש. שליטה בלולאה סגורה מאפשרת שמירה על טמפרטורה המתאימה לתהליך, כך שכל סדרת ייצור תקבל אותו תוצאה, שוב ושוב.
למה זה עובד בתהליך הייבוש של DNS:
המנורה מספקת חום מהיר ונקי, ללא מגע פיזי. היא פועלת בסביבות מסוג Class 1–100, ללא ייצור חלקיקים ועם פליטת גזים מינימלית – בדיוק מה שנדרש כדי לשמור על איכות המוצר בשלבי ייצור מתקדמים. אחידות גבוהה בטמפרטורת הייבוש מאפשרת שליטה טובה יותר בתהליך, והתגובה התרמית המהירה מקצרת את זמן העיבוד ומפחיתה את צריכת האנרגיה. התוצאה היא ביצועים יציבים של המכונה, פחות עבודות תיקון, ואפשרות לתכנן את זמני התחזוקה בצורה טובה יותר.
הוראות התקנה ותפעול:
יש לתכנן מראש את החיבורים החשמליים הנדרשים בחדר הנקי, ולוודא שגופי הפליטה ממוקמים כראוי ביחס לחלון של תא DNS – חוסר התאמה עלול לפגוע באחידות הטמפרטורה. המנורה יכולה לפעול בעוצמה מלאה בצורה אמינה, אך לגופי הפליטה יש חיי שימוש מוגבלים. יש לתכנן החלפות מוקדמות, כדי שלא להיתקל בתקלות לא צפויות. לפני ההפעלה, יש לוודא שהמנורה מתאימה לתהליך הייצור, ושטווח הטמפרטורות שלה תואם את הדרישות.