Protéger les objets lors du nettoyage des wafers
Lorsque l’on chauffe des wafers dans une ligne de nettoyage chimique, on joue en quelque sorte avec le feu – ou du moins avec des vapeurs qui peuvent exploser facilement. Les lampes infrarouges ordinaires ne sont pas conçues pour résister à ce type de tension. Elles entraîneraient certainement des désastres.
Pour y remédier, nous enveloppons les éléments chauffants dans une sorte d’armure spéciale. Cela permet de protéger l’équipement des effets néfastes des produits chimiques, tout en laissant passer la chaleur là où elle est nécessaire.
Le secret réside dans les joints hermétiques
Nous ne prenons aucun risque lié aux étincelles. Nous enveloppons nos tubes en quartz dans des gaines résistantes aux produits chimiques, et nous utilisons des joints hermétiques aux points de connexion des électrodes. Pourquoi ? Parce que si des gaz dangereux pénètrent dans l’enveloppe de la lampe, cela peut provoquer de graves problèmes. Un joint défectueux n’est pas simplement un problème technique : c’est aussi une source de risque majeur. C’est pourquoi nous utilisons des matériaux capables de résister aux agents chimiques corrosifs sans se détériorer.
Obtenir la température idéale
Ces chauffages utilisent des rayonnements infrarouges à ondes courtes. Cela permet de chauffer très rapidement les wafers. Cette vitesse signifie que les wafers passent beaucoup moins de temps dans cette « zone dangereuse » où les variations de température peuvent être problématiques. Nous avons passé beaucoup de temps à ajuster la puissance afin que les wafers atteignent la température souhaitée sans endommager l’enveloppe qui les contient. Un conseil : assurez-vous que l’alimentation électrique correspond exactement à la tension requise par la lampe. Sinon, vous risquez de provoquer un défaillance prématurée de la lampe.
Installation et entretien
Ces chauffages ont été conçus pour remplacer directement vos modules de nettoyage existants. Il faut toutefois noter qu’ils sont un peu plus volumineux qu’une lampe ordinaire. C’est le prix à payer pour obtenir une certification anti-explosion. Avant de commencer l’installation, vérifiez bien les espacements disponibles dans le châssis, afin d’éviter tout problème lié au manque d’espace. Une fois installés, surveillez bien ces gaines extérieures. Si vous remarquez des fissures, retirez immédiatement la lampe. Nous utilisons également des connecteurs renforcés, car les machines de nettoyage vibrent beaucoup. Nous ne pouvons pas permettre que des fils se détachent et créent des arcs électriques dans une pièce pleine de produits chimiques volatiles. C’est simplement une question de bon sens.