جلوگیری از انفجار اتاقهای تمیز: گرمکنهای مادون قرمز و مواد شیمیایی فرار
هنگام گرم کردن ویفرهای نیمههادی در حین فرآیندهای تمیزکاری شیمیایی، باید با دقت عمل کرد. نیاز به دقت حرارتی بالا وجود دارد، اما در عین حال نمیخواهیم که انفجاری رخ دهد.
اگر در معرض بخارات قابل اشتعال یا منفجره کار میکنید، استفاده از لامپهای مادون قرمز معمولی، نه تنها بیفایده است، بلکه میتواند خطرناک نیز باشد. برای حل این مشکل، ما تمرکز خود را از روی خود عنصر گرمایشی به نحوه پوشاندن آن و نظارت بر عملکرد آن منتقل کردیم.
پوشش محافظتی: جلوگیری از ورود مواد مضر
لامپها را در غلافهای ویژه از جنس کوارتز یا سرامیک قرار میدهیم؛ این غلافها با استفاده از درزبندهای مقاوم در برابر مواد شیمیایی، لامپها را از مواد مضر محافظت میکنند. چرا؟ چون اگر درزبندها از کار بیفتند، بخارات فرار میتوانند به سطحهای داغ یا جریانهای الکتریکی برخورد کنند و این امر میتواند منجر به فاجعه شود. ما از درزبندهای فلوروپلیمری با کیفیت بالا استفاده میکنیم تا اطمینان حاصل کنیم که لامپ کاملاً از مواد شیمیایی محافظت شده است.
سنسورهای پیگیری حرارت: بازخورد لحظهای
دقت، بدون ایمنی، چندان اهمیتی ندارد. به همین دلیل، ما سنسورهای حرارتی با پاسخگویی سریع را در ساختار گرمکنها قرار دادیم. این سنسورها، دمای سطح لامپ را به طور مداوم زیر نظر دارند. اگر وضعیت به درستی کنترل نشود، سیستم بلافاصله جریان الکتریکی را قطع میکند. ما اطمینان حاصل میکنیم که این سنسورها نیز به همان اندازه مقاوم باشند تا در شرایط دشوار نیز کار کنند.
مشکلات مربوط به تأخیر حرارتی: چگونه با آن کنار آمد؟
مشکل اینجاست که استفاده از لایههای محافظتی، سیستم را ایمنتر میکند، اما باعث کند شدن عملکرد آن میشود. از آنجایی که غلافها مانعی برای انتقال حرارت هستند، حرارت برای رسیدن به هدف مورد نظر، زمان بیشتری میبرد. بنابراین، لازم است تنظیمات مربوط به سیستم کنترلی را تغییر دهیم تا این تأخیر را جبران کنیم. در غیر این صورت، ممکن است دمای مورد نظر را از دست بدهیم.
در نهایت، ما این دستگاهها را طوری طراحی کردهایم که بتوانند در برابر بخارات مضر مقاومت کنند و در عین حال، سیستم الکتریکی آنها نیز در امان بماند. شما یک منبع حرارتی پایدار دارید، و مهمتر از آن، اتاق تمیزی که در حالت سالم باقی میماند.