بیایید درباره انفجار لامپها و آلودگی ویفرها صحبت کنیم.
در صنعت تولید نیمههادی، انفجار لامپ یک فاجعه واقعی است. این مشکل فقط مربوط به خراب شدن یک قطعه سختافزاری نیست؛ بلکه مشکلات ناشی از آن نیز وجود دارد. وقتی لوله کوارتز تحت بار سنگینی خراب میشود، تکههای شیشهای و ذرات مختلفی روی ویفرها ریخته میشود؛ این امر باعث کاهش کیفیت محصولات میشود.
به همین دلیل، ما لامپهای UHP را طوری طراحی کردهایم که از بروز این آلودگیها جلوگیری کنند.
کنترل آلودگیها
ما از سیلیکا مصنوعی برای ساخت لامپها استفاده میکنیم؛ درجه خلوص این مواد بسیار بالاست، بنابراین نیازی به نگرانی درباره خارج شدن گازها از لامپ نیست. اما راز واقعی، استفاده از غلاف حفاظتی است.
میتوان آن را مانند یک تور حفاظتی در نظر گرفت؛ اگر لامپ داخلی خراب شود، این غلاف تمام تکههای شیشهای را در خود نگه میدارد؛ در نتیجه نیازی نیست کل محفظه را ساعتها تمیز کنیم. این کار باعث صرفهجویی قابل توجهی در زمان میشود.
همچنین، نقطه اتصال لامپ به قاب آن نیز میتواند منبع مشکلات باشد؛ ما از صفحات ضدحرارتی استفاده میکنیم تا از خراب شدن لامپ جلوگیری شود. این کار باعث جلوگیری از نفوذ هوا و گرد و غبار به محیط تمیز میشود.
مدیریت گرما
چرخههای سریع گرمایی، در واقع میتواند باعث خرابی لوله کوارتز شود؛ برای جلوگیری از این امر، ما سعی میکنیم گرما به طور یکنواخت در سراسر لامپ پخش شود. ما توان و ولتاژ لامپ را به گونهای تنظیم میکنیم که هیچ نقطهای از لامپ بیش از حد گرم نشود.
اما مشکل اینجاست که باید منبع تغذیه لامپ را نیز با این مشخصات تنظیم کرد؛ اگر سعی کنیم لامپ را بیش از حد فعال کنیم تا دمای لامپ زودتر به هدف برسد، در واقع در حال ایجاد مشکلات برای لامپ هستیم؛ این کار باعث کوتاه شدن عمر لامپ میشود.
توازن بین مزایا و معایب
هیچ چیز کامل نیست؛ استفاده از غلاف حفاظتی به معنای اضافه شدن یک لایه دیگر بین منبع گرما و ویفر است.
در نتیجه، کارایی انتقال امواج مادون قرمز کمی کاهش مییابد؛ شاید لازم باشد توان لامپ را افزایش دهیم یا اجازه دهیم ویفرها مدت زمان بیشتری در معرض گرما قرار بگیرند تا این کاهش کارایی جبران شود.
این یک قیمت کوچک برای جلوگیری از فاجعههای ناشی از خرابی لامپ است.