V prostorách určených k oplachování a sušení se tento ohřívač nachází přímo mezi fázemi čištění a litografie. I náznak změny teploty o 0,5 °C může způsobit vznik „vodních stop“ na waferu – nebo ještě horší situace: může dojít k přetavení fotorezistu po procesu tvrdého vypalování. Náš kvartový ohřívač jsme navrhli právě pro tuto oblast – kde jsou termální vlastnosti, čistota a opakovatelnost klíčové pro dosažení požadované kvality produktu.
Co je z technického hlediska důležité
Jádrem ohřívače je krátkovlnný kvartový infračervený vyzařovač, který umožňuje rychlou regulaci teploty. Cílem je dosáhnout termální rovnoměrnosti na úrovni waferu v rozmezí ±0,1 °C, s stabilními hodnotami teploty od 50 °C do 250 °C a dobou odezvy pod 2 sekundy. Řízení v uzavřené smyčce zajišťuje předvídatelnost termálních podmínek, takže se zabrání poškození citlivých struktur po procesech leptání a CMP. Tělo ohřívače je vyrobeno z extrémně čistého kwartzu, kompatibilního s prostředím typu Cleanroom Class 1–100. Povrch je navržen tak, aby minimalizoval vznik částic, a ohřívač může fungovat 24/7 bez jakýchkoliv problémů s odchylkami teploty, které by vyžadovaly další kalibraci.
Proč se tento ohřívač hodí do zařízení na oplachování a sušení
V takovém zařízení potřebujete teplo, které působí rychle a zároveň zachovává rovnoměrnost – dostatečné na odstranění vody z waferu, ale bez poškození struktur nebo fotorezistu. Tento ohřívač udržuje konstantní teplotní profil, takže proces může být opakován znovu a znovu, od fáze měkkého vypalování až po fázi tvrdého vypalování. Výsledkem jsou kratší cykly, méně odpadu způsobeného kapkami vody nebo „vodními stopami“, a nižší spotřeba energie díky efektivnímu infračervenému spojení a nízké termické hmotnosti.
Poznámky k instalaci
Instalace spočívá v správné orientaci a dodržování odpovídajících vzdáleností. Kvantový obal je odolný, ale je křehký, pokud dojde k mechanickému nárazu. Ujistěte se, že napětí a konektory odpovídají specifikacím vašeho zařízení. Pokud se nacházíte v prostředí s vysokým obsahem elektromagnetického rušení, budete potřebovat ochranu proti tomuto rušení. S správnou montáží a opatrným zacházením lze očekávat provoz po dobu více než 5 000 hodin s degradací menší než 5 %.