V prostorách určených k oplachování a sušení se tento ohřívač nachází přímo mezi fázemi čištění a litografie. I náznak změny teploty o 0,5 °C může...

Na lithografické podlaze otevřete FOUP a riziko na vás dopadne dříve, než ho stihnete spatřit. Zbytková vlhkost. Fotoresist, který není po celé várce...