ชิ้นส่วนที่ใช้ในการทำความร้อนสำหรับสารต้านรังสีอัลตราไวโอเลตระดับสูง (EUV)

ในกระบวนการผลิตแผ่นฟิล์มป้องกัน EUV นั้น ความคลาดเคลื่อนทางอุณหภูมิถือเป็นสิ่งที่ไม่สามารถยอมรับได้เลย...