에너지 절약형 반도체 히팅

IR 가열과 고온 공기 가열: 어떤 방식이 웨이퍼 처리에 더 효과적일까? 만약 고온 공기 순환 방식에서 적외선(IR) 가열 방식으로 전환한다면, 에너지가 기판에 전달되는 방식이 바뀌는 셈입니다. 잠시 고온 공기 가열 방식을 생각해보세요. 공기를 데운 다음, 그 공기가...