オゾンフリー赤外線ランプ

機械を加熱するのをやめて、ウェーハを加熱しましょう ほとんどの赤外線ランプは、あらゆる方向に熱を放出します。つまり、360度全方位に熱が行き渡ります。半導体製造装置のような精密な機器を扱う際には、これは大きな問題です。 そのエネルギーの多くは、ウェーハには全く当たらず、代わりに装置の内壁に当たって...