クラス100のクリーンルームで適切な温度管理を行うには（汚れを防ぎながら） クラス100のクリーンルームで作業を行う際、最も避けたいのは、ヒーターから微粒子が発生してしまうことです。実際、このような状況は思った以上に頻繁に起こります。一般的なヒーターは、加熱や冷却の過程で剥がれ落ちたり、ガスを放出...

スマートなファブ用カートを適切な温度にする方法（汚染を防ぎながら） もし、現代的なスマートファブを構築するつもりなら、まず最初にやるべきことは、古くさい対流式の加熱装置を使わないことです。そうした装置は、このような用途には向いていません。半導体製造用のクリーンルームで使うカートには、短波赤外線を利...