ウェーハ加熱時の安全距離

ウェーハにより多くの熱を与える方法（電力の無駄遣いを避けて） シリコンウェーハを加熱する際、実質的にはエネルギーの損失と戦っていることになります。 問題は、一般的な石英ランプが360度全方位に熱を放出する点です。適切な反射器がない場合、消費されたエネルギーの半分が装置の筐体内で失われてしまいます。...