半導体製造工場におけるIRヒーターの配線の仕方 半導体製造工場で実際に二酸化炭素排出量を減らしたいのであれば、古い方式の抵抗式オーブンに頼るのはやめなければなりません。それらはエネルギーを大量に消費します。代わりに精密な赤外線ヒーターを使用するのが最善です。そうすれば、部屋全体を暖めるのではなく、...

クリーンルームが爆発しないようにするために：赤外線ヒーターと揮発性化学物質 半導体ウェハを化学的に洗浄する際に加熱するとき、非常に慎重な対応が求められます。正確な温度制御が必要ですが、同時に爆発を引き起こしてはなりません。 可燃性や爆発性のある蒸気が存在する環境では、通常の赤外線ランプは単なる工具...

スマートなファブ用カートを適切な温度にする方法（汚染を防ぎながら） もし、現代的なスマートファブを構築するつもりなら、まず最初にやるべきことは、古くさい対流式の加熱装置を使わないことです。そうした装置は、このような用途には向いていません。半導体製造用のクリーンルームで使うカートには、短波赤外線を利...

なぜ半導体工場で金コーティングされたIRランプが使われるのか 半導体ウェーハを処理する際、必要とされる熱量は非常に大きい。私たちは「グリーンファクトリーやカーボンニュートラル」といった言葉をよく耳にしますが、現実にはそれは単純に「エネルギーの無駄遣いを止める」ということに尽きます。 目的は、必要な...

生产线においては、温度というのは単なる目安ではなく、実際のプロセスを左右する要素です。フォトレジストのソフトベイク中に0.5℃の温度変動があれば、重要な寸法がナノメートル単位で変わってしまいます。大量生産の工場では、このような温度変動は理論上の話にとどまりません。実際には、不良品が生じてしまいます...

Fabフロア上で、ウェハプローブ中の温度逸脱はサイクルタイムを消費するだけに留まらない。ダイをスクラップし、歩留まりを悪化させ、生産ラインの管理を破壊する。ウェハプローブ用ヒーターは、粒子を発生させることなく、揺るぎない熱安定性を保持しなければならない。なぜなら、余分な微粒子はすべて、ブリッジ、シ...