コーター・デベロッパー用赤外線ヒーター

リソグラフィーの工程において、わずか0.2℃の温度変動でも、CD値が変わり、ウェーハの歩留まりが悪化してしまいます。コーター/デベロッパー装置では、ウェーハがソフトベイクやハードベイクの工程を経る間、迅速かつ正確に熱を供給し、その温度を安定させる必要があります。もしIRヒーターに問題があれば、スク...