スマートファブの適切な熱管理を実現するために
もし、インダストリー4.0向けのスマートファブを構築しているのであれば、従来の対流式オーブンではもはや十分ではないことに気づいているはずです。問題は、クリーンルーム内では空気の流れが汚染物質を運ぶ媒体になってしまうことです。それは避けたいものです。
そこで、私たちは赤外線を利用します。空気を送り込む代わりに、赤外線は放射によってエネルギーを直接対象物に届けます。風もなく、ほこりも浮かばず、何の問題もありません。
あなたの指示に応じて動く熱源
デジタル製造においては精度が重要です。抵抗コイルを使う場合、部品が温まるまでに数分かかります。それは非効率的です。一方、赤外線ランプなら、数秒で目的の温度に到達します。
これらの装置はPLCコントローラーと直接接続されているため、ワット数を即座に調整したり、電力を瞬時に切ったりすることができます。つまり、温度が上がりすぎてウェーハが損傷する心配がありません。
スペースの節約
部屋の半分を占めるような大きな機械は誰も望みません。そのため、短波や中波のエミッターを使用しています。これにより、小さなスペースで大きな効果を得られます。
ただし、電力の面では注意が必要です。これらのシステムは220Vや380Vの電源に直接接続されますが、高密度のアレイでは多量の電流が必要になります。電力供給が追いつかないと、電圧降下が発生してしまいます。
清潔さの維持
どんなファブでも、汚染は最悪の事態です。そのため、当社のランプは高純度の石英製のケースを使用しています。高温になると剥がれたり蒸発したりしがちな接着剤や揮発性の塗料は排除されています。つまり、常に清潔な状態が保たれます。
注意点：工学的なトレードオフ
しかし、すべてが完璧というわけではありません。急速加熱には欠点もあります。赤外線の強度が高いため、部品の形状が特殊な場合、局所的に過度に熱くなってしまう可能性があります。
単純に赤外線システムを設置してもうまく機能するわけではありません。必要な熱分布を得るためには、ランプの距離や角度を調整する必要があります。
最後に、冷却にも注意が必要です。もしシステムがワークピースから反射される熱に対応できなければ、筐体内の電子部品が壊れてしまいます。適切に冷却することが重要です。