מחמם לייבוש שבבי חיישני MEMS

ויתור על אוויר חם לטובת חימום באמצעות אינפרא-אדום בייבוש שבבי MEMS במשך זמן רב, השיטה הנפוצה לייבוש שבבי החיישנים של MEMS הייתה פשוט לנשוף אוויר חם...