Arrêtez de chauffer votre machine et commencez plutôt à chauffer la wafer.
La plupart des lampes infrarouges sont assez peu efficaces : elles émettent de la chaleur dans toutes les directions, à 360 degrés. Lorsque l’on travaille avec des équipements de semi-conducteurs très précis, c’est un problème majeur.
Une grande partie de cette énergie ne touche même pas la wafer. Au contraire, elle heurte les parois intérieures de la machine. Le résultat ? Un châssis tellement chaud qu’il peut brûler les mains de l’opérateur, et des ventilateurs qui doivent travailler dur pour éviter que tout ne fondre. C’est donc un gaspillage d’énergie.
Amener la chaleur là où elle est vraiment nécessaire
Nous utilisons une technologie infrarouge sans ozone pour résoudre ce problème. En utilisant des revêtements en quartz et des réflecteurs spécifiques, nous parvenons à diriger le rayonnement vers un seul point. Ainsi, la chaleur reste concentrée sur la cible visée. Vous économisez ainsi de l’énergie en évitant de chauffer l’air et le cadre métallique de l’équipement.
Quant à l’ozon… c’est un problème inacceptable. Les lampes à ondes courtes standard produisent de l’ozon, ce qui est dangereux pour les surfaces sensibles des semi-conducteurs et endommage leurs joints. Nos tubes empêchent la formation de cet sous-produit chimique avant même qu’il ne se développe.
Les compromis à prendre en compte (et comment les gérer)
Le problème, c’est que lorsque toute cette chaleur est concentrée en un seul point, sa densité augmente considérablement. Bien que les parois de la machine restent froides, la zone ciblée subit une intensité thermique beaucoup plus élevée. Il est donc important de vérifier correctement vos régulateurs PID. Si vous ne les calibrez pas, vous risquez de dépasser la température souhaitée.
De plus, si vous remplacez un vieux système, assurez-vous que les supports de montage ne soient pas faits d’un matériau qui pourrait se déformer dès que le rayonnement le touche.
Un meilleur environnement de travail pour vos opérateurs
En passant à un système de chauffage dirigé, le problème des parois trop chaudes disparaît presque complètement. Votre équipe peut maintenant travailler plus près de l’équipement, sans craindre de brûlures dues aux parois extérieures. De plus, l’intérieur de l’équipement reste plus frais. C’est un avantage pour les autres composants électroniques, qui n’ont plus besoin de fonctionner dans des conditions extrêmement chaudes pour remplir leur mission.