Hören Sie auf, Energie zu verschwenden: Warum Goldreflektoren wichtig sind
Beim Halbleiterverarbeitungsprozess ist jedes verschwendete Watt im Grunde ein Designfehler. Stellen Sie sich vor: Wenn man diese Hochleistungsheizelemente einschaltet, geht ein großer Teil der Infrarotenergie einfach verloren – sie strahlt in alle Richtungen ab, anstatt dorthin zu gelangen, wohin sie eigentlich soll.
Wir haben dieses Problem gelöst, indem wir goldbeschichtete Reflektoren direkt in die Heizvorrichtung eingebaut haben.
Warum Gold?
Poliertes Aluminium oder Edelstahl mögen zwar glänzend aussehen, doch sie saugen die Energie in den Wellenlängen auf, die wir für die Erwärmung der Wafer verwenden. Gold hingegen reflektiert über 98 Prozent der Infrarotstrahlung. Anstatt das Gehäuse der Maschine zu erhitzen – was Ihnen nichts bringt – leitet Gold die Energie direkt auf die Wafer weiter. So erhalten Sie viel mehr Wärme pro eingesetztem Watt.
Es geht um die Form
Das Edelstahlgehäuse spielt hier eine wichtige Rolle. Wir formen es in spezielle parabolische oder elliptische Kurven, damit die Strahlung in einem präzisen Strahl konzentriert wird. Präzision ist alles. Wenn das Gehäuse auch nur wenige Millimeter von der richtigen Position abweicht, entstehen kühle Stellen auf der Wafer – und das ist ein Problem. Wir fertigen das Gehäuse so stark, dass es den Anforderungen standhält – anschließend fügen wir noch eine Goldschicht hinzu, um eine gleichmäßige Wärmeverteilung auf der gesamten Oberfläche zu gewährleisten.
Die realistischen Kompromisse
Es ist nicht alles perfekt. Gold kostet mehr. Zudem ist es weicher als rohes Stahl – daher können Kratzer entstehen, wenn die Montage unvorsichtig durchgeführt wird. Bitte verwenden Sie auf keinen Fall abrasive Reinigungsmittel auf diesen Reflektoren.
Außerdem müssen Sie auf die Wärmestärke achten. Da fast alle Energie auf die Wafer gerichtet wird, wird die Lampe nicht durch ihre eigene reflektierte Wärme überhitzt. Achten Sie jedoch darauf, dass Ihre Kühlventilatoren stark genug sind, um diese hohe Belastung am Fokuspunkt zu bewältigen. Andernfalls besteht die Gefahr, dass die Ränder der Wafer überhitzt werden.