Richtige Verkabelung für Infrarotheizungen in Halbfertigungsanlagen
Wenn wir tatsächlich die Kohlenstoffemissionen in Halbleiterfabriken reduzieren wollen, müssen wir auf diese alten, energieintensiven Widerstandsofen verzichten. Der Übergang zu präzisen Infrarotheizungen ist die richtige Lösung – denn so wird nur das gewünschte Zielobjekt erhitzt, anstatt der ganze Raum.
Aber es gibt ein Problem: Bei Infrarotheizungen muss die Verkabelung starken Hitzen standhalten. Deshalb verwenden wir Kabel mit Teflon-Isolierung.
Warum Teflon?
Standardmäßige PVC- oder Silikonkabel eignen sich nicht dafür. Sie schmelzen oder gehen kaputt, sobald sie zu nahe an einer Infrarotlampe kommen. Teflon hingegen bleibt auch bei Temperaturen von 260°C fest und behält seine Form.
In Halbfertigungsanlagen ist der Platz begrenzt. Es herrschen hohe Temperaturen, und man kann oft keinen Schutz zwischen den Kabeln und der Wärmequelle einbauen. Mit Teflon können die Kabel näher an der Quelle angebracht werden, ohne dass es zu Kurzschlüssen oder Beschädigungen kommt.
Die damit verbundenen Einbußen
Der Einsatz von Infrarotlampen spart zwar viel Energie, doch die Hitze konzentriert sich an einem Ort. Bei Hochleistungs-Infrarotsystemen leiden die Leitungen sehr unter dieser Hitze. Um zu verhindern, dass die Kabel überhitzen, verwenden wir Kupferkernen mit Silberbeschichtung unter der Teflon-Isolierung. Dadurch bleibt der elektrische Widerstand gering.
Allerdings ist Teflon steifer als Silikon. Es sollte nicht in enge Kurven gezwungen werden. Wenn man die Kabel zu stark biegt, kann die Isolierung beschädigt werden. Man muss also sorgfältig planen und den Kabeln genügend Freiraum geben.
Das große Bild der „grünen“ Fabriken
Das Ziel vieler „grüner“ Initiativen ist die Energieeinsparung. Infrarotsysteme erreichen genau das – sie heizen nur das Wafer, nicht den ganzen Raum.
Durch den Einsatz von hochwertigen Teflonkabeln hält das gesamte System länger. Man muss keine Kabel alle paar Wochen austauschen. Weniger Ersatzteile und weniger verschwendete Energie bedeuten, dass die Betriebskosten der Fabrik sinken.
Mit der richtigen Verkabelung lässt sich der ständige Stillstand wegen thermischer Belastungen vermeiden. Das ist ein Vorteil sowohl für die Ausrüstung als auch für den Planeten.