Làm nóng bằng tia hồng ngoại so với sử dụng khí nóng: Phương pháp nào thực sự hiệu quả cho việc xử lý các tấm wafer của bạn?
Nếu bạn chuyển từ phương pháp sử dụng khí nóng sang phương pháp làm nóng bằng tia hồng ngoại, bạn đang thay đổi cách mà năng lượng được truyền vào bề mặt vật liệu được xử lý.
Hãy nghĩ về phương pháp sử dụng khí nóng trước. Bạn phải làm nóng không khí trước, sau đó mới dùng không khí đó để làm nóng bề mặt vật liệu. Quá trình này diễn ra chậm chạp. Còn phương pháp sử dụng tia hồng ngoại thì khác. Đó là bức xạ điện từ trực tiếp chiếu vào bề mặt vật liệu, không cần qua trung gian nào cả.
Thời gian là yếu tố quan trọng trong quy trình sản xuất chip bán dẫn.
Với phương pháp sử dụng khí nóng, bạn phải chờ đợi một thời gian dài để buồng xử lý đạt được nhiệt độ mong muốn. Điều này rất phiền phức. Còn với đèn tia hồng ngoại, bạn có thể đạt được nhiệt độ mong muốn chỉ trong vài giây.
Bạn sẽ cảm nhận rõ điều này trong quá trình xử lý và loại bỏ hơi nước khỏi vật liệu. Khi loại bỏ được yếu tố “trở kháng nhiệt” do không khí gây ra, bạn có thể làm nóng hoặc làm lạnh vật liệu nhanh hơn nhiều. Điều này có nghĩa là bạn có thể xử lý nhiều tấm wafer hơn mỗi ca làm việc.
Đưa nhiệt lượng đến đúng vị trí cần thiết.
Chúng ta đều từng gặp phải vấn đề về sự chênh lệch nhiệt độ do khí nóng gây ra. Điều này khiến một số vị trí trên bề mặt vật liệu bị nóng quá, trong khi những vị trí khác lại quá lạnh. Phương pháp sử dụng tia hồng ngoại giúp bạn kiểm soát nhiệt độ một cách chính xác hơn. Bạn có thể thiết lập các đèn sao cho chúng chiếu trực tiếp vào những vị trí cần được làm nóng. Như vậy, bạn sẽ giảm được lượng vật liệu bị lãng phí.
Ngoài ra, không gian trong phòng sạch cũng sẽ rộng rãi hơn. Bạn không cần phải sử dụng những ống dẫn khổng lồ hay máy thổi khí cồng kềnh chiếm diện tích trong phòng.
Những hạn chế của phương pháp sử dụng tia hồng ngoại
Tuy nhiên, tia hồng ngoại cũng không phải là giải pháp hoàn hảo. Nó cũng có những hạn chế riêng. Hạn chế lớn nhất là vấn đề về tầm nhìn của tia hồng ngoại. Nếu bề mặt vật liệu có hình dạng phức tạp hoặc có những chỗ lõm sâu, tia hồng ngoại sẽ không thể chiếu đến những chỗ đó. Trong trường hợp này, bạn vẫn cần sử dụng phương pháp đối lưu khí hoặc các thiết bị quay để đảm bảo nhiệt độ đồng đều trên toàn bộ bề mặt vật liệu.
Và cuối cùng, hãy chú ý đến công suất của đèn tia hồng ngoại. Những đèn có công suất cao sẽ tiêu thụ rất nhiều điện năng. Hãy đảm bảo rằng hệ thống điện của bạn có thể đáp ứng được lượng điện năng cần thiết khi bật đèn.