Інфрачервоне нагрівання проти нагріву гарячим повітрям: що насправді ефективно для ваших пластин?
Якщо ви переходите від нагріву гарячим повітрям до інфрачервоного нагрівання, ви фактично змінюєте спосіб передачі енергії до поверхні пластини.
Уявіть собі нагрівання гарячим повітрям: спочатку нагрівається саме повітря, а потім це повітря мусить нагріти саму пластину. Цей процес є повільним. Інфрачервоне випромінювання діє інакше – це електромагнітне випромінювання, яке безпосередньо потрапляє на поверхню пластини. Немає жодних посередників.
Час – це гроші
У складному процесі обробки напівпровідників час є справжніма ресурсом. При використанні гарячого повітря доводиться чекати довгий час, поки камера не досягне стабільної температури. Це дратує. Але інфрачервоні лампи дозволяють досягти потрібної температури за кілька секунд.
Це особливо помітно під час процедур висушування чи полімеризації. Оскільки не потрібно враховувати вплив повітря, можна значно швидше підвищувати чи знижувати температуру. Це означає, що можна обробляти більше пластин за одну зміну.
Точне розташування тепла
Усі ми стикалися з проблемою нерівномірного розподілу тепла при використанні гарячого повітря. Через розташування вентиляторів утворюються „гарячі“ та „холодні“ зони. Інфрачервоне нагрівання дозволяє точно контролювати розподіл тепла – лампи можна налаштувати так, щоб вони нагрівали саме ті ділянки пластини, які цього потребують. Це зменшує кількість непотрібної обробки та відходів.
Крім того, у чистій кімнаті стає більше простору. Не потрібні великі канали для подачі повітря чи великі вентилятори, які займають багато місця.
Реальність
Але інфрачервоне нагрівання – це не чарівна паличка. У нього є свої недоліки. Найбільшою проблемою є можливість прямого видимого променя. Якщо пластина має складну тривимірну форму чи глибокі впадини, інфрачервоне випромінювання не може дістатися до цих ділянок. У таких випадках все одно потрібен якийсь спосіб для рівномірного нагрівання.
Ще одна порада: слідкуйте за потужністю ламп. Лампи з високою потужністю споживають багато енергії. Обов’язково переконайтеся, що ваша електрична система може витримати цей пік споживання енергії при увімкненні ламп.